中古 IPI ECS-2106 #9249414 を販売中

IPI ECS-2106は、ラインウェーハとマスクスクラバーの上部であり、ウェーハとマスクサーフェスの信頼性の高い高性能スクラブを提供するように設計されています。スクラバーは、パッドレス技術を搭載したウェットバーンインユニットで動作し、スクラブ表面を通して溶液と粒子を均一に伝達するプロセス技術です。これにより、広範なパッド、ブラシ、その他のアクセサリーを必要とせずに、迅速で信頼性の高い洗浄プロセスが保証されます。その中核には、ECS-2106は「ベルトレス」コンベアシステムを備えた3レベルの剥離プレートスクラバーを備えています。ウェーハ表面とマスク面に均一なパターンで最大20,000rpmで0。1〜0.4µmの溶液粒子を分配します。その後、スクラブサーフェスは、粒子が燃え尽きている火炎発生モジュールを通過し、クリーンで汚染のない表面を提供します。スクラバーはまた、いくつかのオーバーフロー、すすぎ、乾燥および紫外線硬化システムを統合して、スクラブ表面に残骸が完全に含まれていないことを確認します。また、スクラバーはオプションの特殊脱水検出器（SDD）技術を提供しています。これは、ウェーハおよびマスク上の露と液体の残骸を迅速かつ正確に検出します。さらに、IPI ECS-2106は優れたプロセス制御メカニズムを提供し、非常に正確なスクラビングサイクルを可能にします。パーティクルサイズ、分配速度、コンベア速度などのプロセスパラメータは、すべて個別の要件に従って設定できます。また、各サイクルのカスタムプロセスパラメータとシーケンスを使用して、複数のスクラビングサイクルをプログラムすることもできます。さらに、ECS-2106は、職場での潜在的な事故や怪我のリスクを最小限に抑えるために、特別な安全機能を備えて設計されています。それは作り付けのイオン化された霧の洗剤システムを特色にします、それは周囲の環境の有害なエアロゾル粒子を除去します；また、故障した場合にすぐに電源を切断するフェイルセーフ機構も備えています。全体として、IPI ECS-2106は最先端のウェーハおよびマスクスクラバーであり、ウェーハおよびマスク表面の信頼性と効果的な洗浄を提供します。パッドレス技術、最先端の粒子分配および燃焼モジュール、効率的な洗浄および乾燥メカニズム、包括的な安全機能を包括的なスクラビングパッケージに組み合わせる。ECS-2106は、高精度のウェーハとマスクの信頼性の高い洗浄を必要とするあらゆる業界にとって理想的なソリューションです。