中古 IPI ECS-2101 #9249409 を販売中

IPI ECS-2101は、リソグラフィープロセスに最高レベルの清潔さを提供するように設計された最先端のウェーハおよびマスクスクラバーです。チップ製造前に残留物や汚染物質を除去するために使用されます。このスクラバーは、優れたスクラビングモーションで表面を効果的に洗浄する機能を備えています。3ロールスクラバーには、スループットを向上させ、サイクルタイムを短縮する特許取得済みの機能が搭載されています。スクラバーは、圧力範囲が5psiまでの200mmおよび300mmウェーハ用に設計されています。従来のウェーハスクラバーと比較して、2セットのブラシを使用してウェーハを洗浄し、汚染除去効果を4倍以上に向上させます。これは、ウエハ表面を傷つけないようにするユニークな角度スクラビングブラシのデザインを持っています。また、スクラビング時間を短縮するために、特許出願中の省エネスクラビング機構を備えています。また、超低振動モータを採用し、ウェーハの精密な取り扱いが可能で、基板の破損や欠損を防止します。また、業界で比類のない機械的一貫性と再現性のレベルを提供しています。スクラバーは、優れた人間工学的機能を備えたモジュラー構造を誇り、操作とメンテナンスが簡単です。プロセス最適化、リアルタイムプロセス監視、ウェーハ検査検証など、さまざまなプロセス監視機能を備えています。また、単層マスクと多層マスクの両方をスクラブするための自動クリーニング機能も備えています。ステンレス製のブラシホルダーにより、耐久性と一貫した洗浄力を保証します。ECS-2101は、優れた表面清浄性を求める半導体メーカーに最適なウェーハ&マスクスクラバーです。操作が簡単で、汚染物質を迅速かつ正確に排除する効率的な洗浄プロセスを提供します。さらに、その高いスループットと省エネ機能により、費用対効果の高いクリーンな表面ソリューションをスマートに選択できます。