中古 HUGLE UPS-12100 #9257503 を販売中

HUGLE UPS-12100は、ウェーハやマスクの表面から粒子、汚れ、ほこり、フィルムなどの異物を除去する包括的で信頼性の高いマスクスクラバーです。ウェットクリーニング技術とドライクリーニング技術を組み合わせて、表面を徹底的かつ効率的に洗浄します。ウェットクリーニングは自動スプレージェットを使用し、ドライクリーニングは内蔵のPLC制御ブラシシステムを使用して行われます。最適な洗浄結果を得るために、UPS-12100は超音波、化学薬品、および空気ブラシの要素が付いている革新的な二段階段のスクラバーを利用します。ウェーハとマスクスクラバーのインストールは、ユーザーフレンドリーなPCベースの設定パネルを使用してデバイスを設定できるため、かなり簡単です。HUGLE UPS-12100は包括的なプロセス監視を提供しているため、デバイスのパフォーマンスを追跡するのも簡単です。このモニタリングにより、表面から除去された粒子、汚れ、ほこり、その他の汚染物質の正確な量を測定することができます。また、スクラビングプロセスは、所望の結果を作成するために調整することができます。製品がインストールされると、デバイスは3分以内に完全なサイクルを完了することができます。サイクル中、回転可能な上段と下段の両方が最大効率を達成するために最適化されています。UPS-12100は複数のクリーニングモードも装備されており、さまざまな種類の表面をさまざまな方法でクリーニングすることができます。これらのクリーニングモードには、攻撃的、正常、および穏やかなモードが含まれます。さらに、このデバイスは独自に設計されたプラテンリフトシステムとアクティブロックダウン技術を備えており、ウェーハとマスク間のクロスコンタミネーションを防止します。最後に、HUGLE UPS-12100は低電圧DC電源を搭載し、動作ノイズを最小限に抑えるノイズ低減技術を採用しています。事故を防ぐために設計された安全機能もいくつかあります。これらには、2ステップドアガード、緊急停止スイッチ、および緊急電源オフスイッチが含まれます。全体的に、UPS-12100は徹底的で効率的な洗浄結果を提供する堅牢で信頼性の高いウェーハとマスクスクラバーです。