中古 HUGLE UPC-8300 #9251823 を販売中

HUGLE UPC-8300
ID: 9251823
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 2001
Cleaners, 8" 2001 vintage.
HUGLE UPC-8300は最高のクリーニングの効率および最低の粒子生成を提供するように設計されているウェーハ及びマスクのスクラバーです。UPC-8300は、ウェーハおよびマスクメーカーのニーズを満たすように設計された、自動化された堅牢で費用対効果の高いスクラビングソリューションです。このスクラバーは、1つのノズルウェーハスクラブ技術を採用し、最低限の液体廃棄物で効果的なスクラブ性能を実現しています。ノズルは、最大粒子除去のためにウェーハの横高さに吸引力を自動的に調整します。HUGLE UPC-8300はまた、洗浄性能の均一性を確保するために、ウェーハの両側に専用のスクラビングヘッドを備えています。パーティクルフィルター内蔵により、洗浄時の粒子発生を低減し、ワーク処理のクリーンな環境を確保します。さらに環境保護を推進するために、UPC-8300はバックリンス液をリサイクルし、同時に消費を削減する独自のリンスバックシステムを備えています。HUGLE UPC-8300はセットアップと操作が簡単で、直感的なタッチスクリーンインターフェイスを備えています。この単位は連続的な、中断されない操作のために設計され、200までのウエハ/時間を処理できます。既存のウェーハおよびマスク生産システムに簡単に統合でき、スループットの向上とプロセスの均一性と品質の向上を実現します。300mmまで、厚さ13mmまでのあらゆるタイプのウェーハ&マスクに適しています。UPC-8300は低メンテナンス設計を特徴とし、さまざまなカスタマイズオプションを提供します。スクラバーは3つまでのクリーニングソリューションを使用するように構成することができ、異なったスクラブ塗布のための調節可能な真空レベルを特色にします。スクラブ時間、吸引力、温度を手動で設定することも可能です。これにより、スクラバーを特定のニーズに合わせて調整することができます。HUGLE UPC-8300は最高のプロセス歩留まりを達成している間優秀な性能を提供するために設計され、テストされます。スクラバーのすべての側面は、長期的な低メンテナンスコストで信頼性と耐久性のために慎重に設計されています。容易な統合、優秀な性能および低い維持の特徴によって、UPC-8300はウェーハ及びマスクの製造業者のための理想的な洗浄の解決です。
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