中古 HUGLE UPC-8300 #9157622 を販売中

HUGLE UPC-8300
ID: 9157622
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 2001
Cassette cleaner, 8" 2001 vintage.
HUGLE UPC-8300は半導体産業で使用するために設計されたウェーハおよびマスクスクラバーです。UPC-8300は、ウェーハ表面を効率的に洗浄し、リフレッシュするために設計された、自動化された高効率なスクラブ装置です。スクラビングシステムは、3段階のスクラビングによってウェーハを輸送するコンベアで構成されています。ステージは、必要に応じて追加のクリーニングを可能にします。スクラバーの最初の段階は、ウェーハに洗剤と水を塗布するために使用されるプリソークステージです。この段階では、ウェーハは液体に浸漬され、スクラビングメディアは同時にウェーハを通過します。このプロセスは、ウェーハに付着した汚染物質を緩め、スクラブ処理のために準備するのに役立ちます。第2段階は、ウェーハ表面に直接スクラビングメディアを適用するために使用されるスクラビングステージです。この段階では、ウェーハは水平に配置され、スクラブでウェーハにスクラビングメディアが適用され、動きを回転させます。この段階は、すべての汚染物質がウェーハから除去されるように設計されています。第3段階は、ウェーハに残っている洗剤残留物を除去するために使用される洗浄ステージです。この段階では、ウェーハは水と脱イオン水の溶液に浸漬され、スクラブで回転して動きを回転させます。これは、スクラブ処理後にクリーンな表面がウェーハに残されるようにするのに役立ちます。HUGLE UPC-8300に400から800のRPMまで及ぶことができる可変的な速度制御があります。この制御は、使用されているウエハ基板材料に適した速度でスクラブ処理を実行するために使用されます。スクラバーにはローディングとアンローディングユニットもあり、ウェーハの素早いローディングとアンロードが可能です。機械には、アンチクランプモード、過熱保護、水冷などの安全機能も装備されています。さらに、このツールの設計により、スクラバーを分解することなくホイールの交換が可能になります。これらの機能は、スクラビングプロセスが安全かつ効率的に実行されるようにするのに役立ちます。全体として、UPC-8300は最高のクリーニング性能を提供するように設計された非常に効率的で自動化されたスクラブ資産です。このモデルの可変速度制御、装置の積み下ろし、および安全機能により、半導体業界にとって理想的なシステムとなっています。
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