中古 HUGLE UPC-8300 #9157621 を販売中

HUGLE UPC-8300
ID: 9157621
ウェーハサイズ: 8"
POD Cleaner, 8".
HUGLE UPC-8300は、集積回路および半導体デバイスの製造に使用されるウェーハおよびマスクスクラバーです。このスクラバーは、リソグラフィやエッチングの前にウェーハやマスクの表面から塵の粒子を除去するように設計されています。UPC-8300には3段スクラバー装置が装備されています。最初のステージは、ウェーハがすべての粉塵粒子から解放されていることを確認するためのウェーハスクラビングステーションで構成されています。このステーションには、脱イオン水の加圧ジェットと、ウェーハ表面を同時に洗浄する回転スクラビングブラシが装備されています。スクラバーの第2段階には、残りの粉塵をさらに除去するエアシャワーが含まれています。スクラバーの第3段階には、手動で制御されたブラシと空気圧ブローガンが取り付けられ、表面の最終的な洗浄を提供します。スクラバーには、自己完結型のリサイクルシステムも備えています。汚れた水を再循環させて汚染物質を除去し、水で満たされたお風呂の必要性を低減します。リサイクルされた溶液は、粒子または細菌がゼロであることを確認するために加熱されます。このスクラバーには、水温を監視し、最適な速度でウェーハを洗浄するための調節可能な温度センサーも含まれています。HUGLE UPC-8300は2つのステンレス鋼フレームと組み立てられ、優秀な保護のためにIP-41評価されます。これは、スクラブの進行状況を監視するための液晶ディスプレイが装備されており、いくつかのカスタマイズ可能なオプションを備えたモジュラー設計を備えています。スクラバーには、手動と自動の2つの制御モードが付属しており、ユーザーはさまざまな機能を簡単に切り替えることができます。このマシンには、自己診断機と、潜在的な問題をユーザーに警告するいくつかの安全メカニズムも含まれています。UPC-8300はウエハーおよびマスクのクリーニングのプロセスのための理想的な選択です。堅牢な構造と高度な機能により、過酷な生産環境での使用に適しています。このスクラバーは使いやすいインターフェイスが付属しており、毎回正確で信頼性の高い洗浄結果を提供します。
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