中古 HUGLE UPC-12100 #293669289 を販売中

HUGLE UPC-12100は、半導体製造用に設計されたウェーハおよびマスクスクラバーです。この装置は、ユーザーが効率的に動作するようにユニークな設計をしており、汚染のリスクを最小限に抑えています。柔らかい接触洗浄操作を可能にし、粒子の破片を引き起こす可能性を減らすことができます。さらに、精密な粒子量子化を可能にする高度な粒子カウンタを備えています。UPC-12100は動作を最適化し、ウェーハマスクの表面全体に均一なスクラブ効果をもたらします。コンパクトで省エネ設計で、低音、低消費電力、自動運転を実現しています。クリーニングパラメータを手動で制御するのではなく、統合されたソフトウェアを使用すると、あらかじめ定義されたスクラビングパラメータを調整できます。さらに、サーマルシーリングユニットを内蔵しており、洗浄時のウェーハへの均一なスクラブ圧力を確保しています。マスクの顔は、マスクパターンからの特徴サイズのため、一定の高さと平坦度である必要があります。ウエハスクラバーとマスクスクラバーは、マスクから粒子や汚染物質を強制的に除去するように設計されています。機械の自動的な性質により、毎回スクラビングパラメータが一貫していることが保証され、ユーザーは汚染制御環境で動作することができます。HUGLE UPC-12100は2段スクラビングツールを備えています。まず、スクラブ圧力はアセットで調整できるスクラブヘッドの数によって決まります。その後、スクラビングパッドは、さまざまな速度と角度で移動してマスク表面から粒子を均等に移動させます。この2段階の洗浄モデルは、ウェーハ表面とマスク表面から粒子と化学物質の両方を除去するのに非常に効果的です。UPC-12100はまた粒子の取り外しおよび機械非汚染を改善するのに使用することができる湿式洗浄の部品および化学薬品を統合しました。機器の追加センサーは、必要に応じてオペレータに警告することができる統合された警告システムで、常に化学物質とプロセスを監視します。HUGLE UPC-12100ユニットは、幅広いスクラブ速度と材料から選択できるため、信頼性の高い洗浄および粒子測定オプションを提供します。結論として、UPC-12100は高効率、低ノイズ、自動ウェーハとマスクスクラバーです。半導体製造工程から粒子や化学物質などの汚染物質を精度と精度で除去することができます。これは、統合された化学機械が装備されており、汚染制御された環境でプロセスを監視するセンサーが含まれています。