中古 HUGLE UH-4150 #9156040 を販売中

HUGLE UH-4150 Wafer and Mask Scrubberは、半導体業界の自動ウェーハおよびマスクスクラブ用に設計されています。スクラバーには、4つのモーター制御の連続リニアキャリッジを備えたステンレススチール製の大きなチャンバーがあり、自動化されたウェーハおよびマスク洗浄プロセスを可能にします。最大4枚のウェーハおよび/または1枚のマスクを収納でき、各お客様の構成ニーズに合わせてサイズを調整できます。スクラバーは、開閉用の2つの空気圧式蓋ロックシステムを備えた堅牢な設計です。また、緊急時に電源と手動ワークステーションを安全に分離するための単一の電動Eストップもあります。スクラバーには、部品の加工用に熱水または冷水を供給するための温度制御された貯水池が内蔵されており、事前にプログラムされた複数の洗浄サイクルに対応できます。独自の光学センサシステムにより、オペレータはスクラビングプロセスを監視し、ポジショナー機構は高性能の精密移動輸送システムでスクラビングサイクルを通じてウェーハとマスクを継続的かつ安全に移動させます。加工時間を短縮し、傷の発生を防止します。すべてのスクラブ機能は、モーションプロセッサとカスタマイズ可能なグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）によって監視および制御されます。スクラバーは、クリーニングサイクル中に部品を保管して空にするために使用することができるフロントパネルに取り付けられた斬新なシュートアセンブリを備えています。このシュートは重力の流れを使用して、残留化学物質やその他の汚染物質をチャンバーから効果的に排出します。また、スクラバーにはエアシリンダーとサーモプレスバルブが組み込まれており、スクラビングプロセス中に蓄積できるガスや熱の効率的な放出を可能にします。スクラバーは、要求の厳しい環境を含む産業用に設計されています。UH-4150は長寿命のために設計されており、メンテナンスを削減して信頼性を向上させます。スクラバーもETL認証を取得しており、必要な業界標準を満たしています。最高の性能と信頼性を確保するために、スクラバーは高品質の部品で作られており、過酷な化学物質や延長実行時間を確実に処理できます。