中古 GST GFC-1501A #9282157 を販売中

GST GFC-1501Aは、ファクトリーオートメーションアプリケーション用に設計された精密ウェーハおよびマスクスクラバーです。このスクラバーは、高速ロボットアームを使用して半導体部品を洗浄および研磨し、ウェーハおよびマスク表面からの汚染物質の優れた除去を提供します。スクラバーにはユニークなデュアルパスブラシ装置が装備されており、ウェーハとマスクの表面を均一に洗浄できます。デュアルパスブラシシステムは、欠陥を低減し、洗浄結果の均一性を促進するのに役立ちます。また、スクラバーは非常に高い性能を発揮し、ウェーハ表面とマスク面の両方から汚染物質を除去することができます。ロボットアームは信頼性の高いモーターで駆動され、非常に精度が高く、ウェーハとマスク面の正確な移動を可能にし、両面の正確な洗浄と研磨を可能にします。ロボットアームは最大4Gsの加速が可能で、最大5000mm/秒の速度に達することができ、迅速な洗浄性能を実現します。ロボットアームは、ウェーハやマスク面のほぼすべての場所に容易に到達できる柔軟な設計で、優れた洗浄性能を実現しています。GFC-1501Aには、3段のろ過ツールを使用して1ミクロンの微粒子を捕捉および除去する高効率の粒子除去機もあります。このアセットにより、ウェーハおよびマスク表面の迅速かつ徹底的かつ再現性の高い洗浄が可能になります。さらに、スクラバーには自動ローディングとアンロードモデルも装備されており、ウェーハとマスクの取り扱いを簡素化および自動化します。自動化されたローディングおよびアンロード装置は、一貫した動作を提供し、1時間あたり最大100ウェーハとマスクを処理することができます。GST GFC-1501Aはまた非常にユーザーフレンドリーな操作および制御インターフェイスを提供し、セットアップし、使用することを容易にします。このインターフェースにより、ユーザーはスクラバーの設定を素早く簡単にプログラムし、クリーニングと研磨パラメータを調整し、スクラバーのパフォーマンスを表示できます。GFC-1501Aは、ウェーハおよびマスクの洗浄および研磨において精度と精度を必要とするファクトリーオートメーションアプリケーションに理想的なソリューションです。信頼できる、耐久の構造、多目的な設計、高速ロボットアームおよび非常に有効な粒子の取り外しシステムによって、GST GFC-1501Aはあらゆるウエハおよびマスクのクリーニングの塗布に優秀なクリーニングの性能そして信頼できる操作を提供します。