中古 GST GFC-1310A #293651804 を販売中

GST GFC-1310A Wafer and Mask Scrubberは、半導体ウェーハ、パターン化フォトマスク、回折光学材料、その他の基板の表面を洗浄するために使用される自動装置です。GFC-1310Aは、タイムテストされた洗剤スクラブ技術とブラシレスモーターと制御された穏やかなスクラブ技術を組み合わせて、非常に効果的なスクラバーシステムを作成します。GST GFC-1310Aは、幅広いウエハやマスクの種類や基板に対応できるように設計されています。そのブラシレスモーターは敏感な基質に損傷を与えないで活発なスクラブを保障します。モーターは密封された基盤によって塵および他の汚染物から保護され、きれい保たれ、乾燥します。モーターはまた任意フィルターセットによって空気中の粒子から隔離されます。GFC-1310Aのユーザーフレンドリーなインターフェースは、迅速かつ直感的なプログラミングを可能にします。これには、LEDディスプレイ、任意の問題をオペレータに警告するための可聴アラーム、ならびにプログラム可能な洗剤洗浄サイクルが含まれています。オペレータは、ウェーハやマスクの特定の洗浄ニーズに合わせて、最大4つの異なる洗浄速度を選択できます。スクラバーユニットはまた、ユーザーの好みに応じて手動またはプログラムされた停止を可能にします。GST GFC-1310Aのスクラビングアクションは、低圧の空気洗浄機で増強され、基板が残りのほこりや粒子をクリアに保つのに役立ちます。また、オプションのスプレー乾燥相も備えており、基板の完全な乾燥を確実にするためにサイクルに追加することができます。GFC-1310Aは非常に効率的で信頼性が高く、コストのかかるダウンタイムを最小限に抑え、一貫して高品質の結果を生み出します。また、既存のプロセスラインに簡単に統合されているため、ウェーハやマスクの洗浄設備や操作に費用対効果が高く、使いやすいツールとなっています。