中古 ENTEGRIS NU-J6101 #9383262 を販売中

ENTEGRIS NU-J6101 Wafer&Mask Scrubberは、最高の製品品質を保証し、粒子の汚染を低減するように設計された完全に自動化されたウェーハおよびマスク洗浄装置です。NU-J6101は、クリーンルーム環境に簡単に収まる静かで人間工学に基づいたデザインを特徴としています。Wafer&Mask Scrubberは2つのヘッドを使用しており、5〜2インチまたは2つの8インチウェーハまたはマスクを同時に洗浄できます。スクラバーは10°から90°の間の調節可能なクリーニングの角度および500rpmまでの速度が可能です。ENTEGRIS NU-J6101には、ユーザーが簡単にクリーニングパラメータをプログラムして調整できる7インチのタッチスクリーンが含まれています。Wafer&Mask Scrubberは、スクラブ、液体添加によるスクラブ、乳化などの3つのクリーニングモードの汎用性と、ICチャックスクラブ用の専用クリーニングモードを提供します。高度な洗浄技術は、複数の洗浄サイクルの後でも完璧にクリーンウェーハとマスクを保証します。ウェーハ&マスクスクラバーは、3段階の汚染分離設計を備えています。マシンの下部にある単一のドレインパイプは、チャンバーからすべてのスクラブされた粒子を収集します。ろ過された粒子は次に集められ、処分される準備ができています。直感的なユーザーインターフェイスは、指定されたクリーニングプロセスの正しいクリーニングパラメータを自動的に求めて、ユーザーの安全性を促進するように設計されています。NU-J6101は500 mLおよび1000 mLのクリーニングソリューションタンクの両方が可能で、HEPAのろ過システムが装備されています。HEPAのろ過の単位は機械に入るかもしれない空気中の粒子を捕獲するので優秀なクリーンルームの環境を維持するのを助けます。ウェーハ&マスクスクラバーには、機械蓋の誤った開閉を防ぐ自動蓋の安全インターロック機構も装備されています。ENTEGRIS NU-J6101 Wafer&Mask Scrubberは、半導体業界の要求を超えるように特別に設計された革新的で効率的な洗浄ツールです。優れた製品品質、信頼性の高い洗浄性能、安全で人間工学に基づいたユーザーエクスペリエンスを提供します。高度な機能と技術は、ユーザーに最高レベルの清潔さと究極のユーザビリティを提供します。