中古 ENTEGRIS NU-J6101 #293594350 を販売中

ENTEGRIS NU-J6101ウェーハおよびマスクスクラバーは、感度の高い半導体およびフォトマスク基板を処理し、洗浄するために、株式会社ENTEGRISが設計した特殊洗浄装置です。このツールは、半導体やフォトマスク業界で使用される最も一般的な材料を含む様々な媒体で最適な洗浄結果を得るために、複数の洗浄サイクル、化学処理、および高度なロボットを利用しています。NU-J6101ウェーハとマスクスクラバーは、基板の完全性を確保するために非接触クリーニング方法を提供する特許取得済みのシングルステージスクラビングソリューションを利用しています。高度なロボットアームは、棚から基板をつかみ、グリップして必要に応じてロボットステーション間を移動するために使用されます。ロボットアームは、マイクロエッチングと脱イオン水洗浄を含む各基板に最適な洗浄プロセスを提供します。マイクロエッチの間に、化学薬品、脱イオン化された水および超音波エネルギーの組合せが蓄積および汚染物を除去するのに使用されています。マイクロエッチング後、ロボットアームは基板を他のアームに回転させ、高純度脱イオン水で基板をすすぎ、残りの汚染物質を除去します。また、ウエハスクラバーとマスクスクラバーは、スクラビングプロセスをリアルタイムで継続的に監視および制御する高度なモニタリングシステムを備えています。このユニットは、輸送中の過度の振動などの異常を検出し、必要に応じて自動的に機械をシャットダウンすることができます。さらに、スクラバーの高度なコンピューター制御ツールは、正確なスクラビングパターン制御を可能にし、ユーザーは特定のクリーニングプロセスのために資産をプログラムすることができます。この洗浄プロセスの最終結果は、完璧にきれいなウェーハまたはフォトマスクです。これには、肉眼で見るには小さすぎる粒子や汚染物質の除去が含まれます。最終製品は完璧に洗浄された基板であるため、この機械は製造業者が高品質のフォトマスクと半導体に投資することを可能にします。ENTEGRIS NU-J6101ウェーハおよびマスクスクラバーは、あらゆる半導体やデジタル製造プロセスに不可欠なツールです。このモデルの革新的なスクラブ技術と精密なロボット制御により、最高品質のウェーハとフォトマスクが、精密な製造作業に必要不可欠です。