中古 DNS / DAINIPPON YFT-1030 #9183823 を販売中

DNS/DAINIPPON YFT-1030 Wafer and Mask Scrubberは、ウェーハとマスク表面から粒子や汚染を除去するために設計されたプロセスツールです。半導体製造プロセスで使用されるシリコンウェーハやフォトマスクを洗浄できます。DNS YFT-1030スクラバーは、ピックアップとスクラブヘッドユニットを備えた軌道ロボットアームを使用して、スクラブモーションを作成します。ロボットは円形のパターンで動き、精密で制御されたパターンで回転し、一貫した結果をもたらします。スクラブヘッドは収納カセットからウェーハを拾い、スクラバーユニットを横切ってクリーニング面に優しく下げます。ロボットアームは、作業用に設計されたブラシで表面を洗浄しながら、前後方向にウェーハをそっと動かします。ウェーハとローブアームはウェーハから持ち上げ、収納カセットに戻します。DAINIPPON YFT-1030スクラバーは、ハードディスクとシリコンウェーハの両方をクリーニングできます。ハードディスクの場合、スクラバーは表面に向けられた特殊な空気の爆発を特徴とし、ディスク上の粒子やその他の汚染物質を排出します。シリコンウエハーには、ウエハー表面の損傷を防ぐ粒子を除去するために特別に設計された一連の非研磨ブラシを使用しています。また、ウェットスクラブ、ドライスクラブ、ウェハエッチングなど、ウェハリコンディショニングにも多くのオプションがあります。ウェットスクラビングプロセスは、粘着性と重い沈殿物を除去するために最適です。それは表面からの堅い汚染物を持ち上げるのを助けるのにディスクに吹きかけられる液体のクリーニングの解決を使用します。ドライスクラビングプロセスは、ブラシを使用して微粒子などの表面物質を除去する軽い洗浄プロセスです。ウェーハエッチングは、化学エッチングを使用してウェーハから一部の粒子を除去するプロセスですが、ウェーハに損傷を与える可能性があるため、控えめに使用する必要があります。YFT-1030スクラバーは、ウェーハとマスクの洗浄と修復を提供する強力で信頼性の高いプロセスツールです。調整可能な設定により、さまざまな種類の材料を簡単に洗浄でき、ロボットアームは一貫して高品質の結果を保証します。これは、汚染を低減し、プロセスの歩留まりを向上させるのに役立つ費用対効果の高いツールです。