中古 DNS / DAINIPPON TKSP-300S #9159919 を販売中

DNS/DAINIPPON TKSP-300S Wafer&Mask Scrubberは、厳格な産業用に設計された先進的なウェーハ洗浄装置です。このシステムは、生産性と反復性能を向上させるために、ウェーハとマスクをきれいにして維持するための産業用スクラブ技術を提供します。DNS TKSP-300Sは手動スクラブを排除し、信頼性の高いスクラブと適切なクリーニングと再現性を兼ね備えた自動プロセスに置き換えます。スクラバーは堅牢なステンレス製シャーシで構成され、16ビット専用マイクロプロセッサを備えた堅牢なIPM（インテリジェントプロセスモジュール）を備えています。これには直感的な「ジョグ&シャトル」メニューナビゲーションユニットが含まれており、ユーザーはウェーハ&マスククリーニングサイクルや化学プロセスなどのパラメータを設定できます。インターフェースには、スクラバーの設定や操作に便利な多言語サポートも装備されています。スクラバーには、メンテナンスレベルを低く保ち、生産性を高めるローディングアームも含まれています。スクラバーの内部には、上部チャンバーに1秒未満ウェーハが残ることを保証する高効率の高速リターンケミカルバスも含まれています。この非常に急速な入浴水の変化は、最小限の時間で完全なウェーハ洗浄を保証します。このスクラバーには、金属粒子や有機汚染物質などの汚染物質をターゲットにスクラブするための積極的なブラシマシンが取り付けられています。ブラシツールは、あらゆるタイプのマスク基板でシームレスに動作するように設計されています。さらに、スクラバーは2段階の洗浄プロセスを実行し、最適なフラグ解除、疎水性および充電された材料の除去、および最適なイオン汚染制御を可能にします。ダイニッポンTKSP-300Sスクラバーには、モデル全体に空気を循環させるアクティブエアーフィルトレーションアセットが装備されており、スクラバー寿命を延ばし、空中粒子に対する保護を提供します。また、ウェーハやマスクに残されたガスやホコリの痕跡を除去する高度な自動洗浄システムも装備されています。また、TKSP-300Sスクラバーはメンテナンス機能を強化し、ユニットの状態と予防メンテナンスのリアルタイム監視を提供します。また、このスクラバーにはセキュアなログインマシンが組み込まれており、オペレータはパラメータと監視機能に排他的にアクセスできます。全体として、DNS/DAINIPPON TKSP-300S Wafer&Mask Scrubberは、強化されたスクラビングおよびクリーニング技術と自動化されたプロセスおよびユーザーフレンドリーなプログラミングを組み合わせた業界をリードするウェーハクリーニングツールであり、制御可能で繰り返し可能な方法で優れた結果を提供します。