中古 DNS / DAINIPPON SSW-629-B #293608924 を販売中

DNS/DAINIPPON SSW-629-B Wafer&Mask Scrubberは、半導体基板やリソグラフィ光学系からの粒子除去を自動化したソリューションです。このデバイスは、Low-kまたはCu基板などの粒子クリーニングアプリケーション用に設計されています。装置は、カセットローダー/アンローダー、MFCコントローラと機械部品を含むメインフレーム、および一連のスクラブブラシで構成されています。各スクラビングブラシは、カスタム加工された回転スピンドルで構成されています。スクラビングプロセスは、サーボ制御のエアベアリングシステムによって操作され、ブラシは2つのコンポーネント間の摩擦なしで回転スピンドルと同期して移動することができます。サーボ制御ユニットは、ウェーハ表面全体に均一なスクラブ圧力を保証し、所望の結果を得るために微調整することができます。スクラビングプロセスはマイクロプロセッサ制御プログラムによって駆動され、ブラシとスピンドルの速度を正確に調整できます。これにより、オペレータは最大限の効率で高度にターゲットを絞ったスクラビングプロセスを実行し、ウェーハ全体の粒子を均一に除去することができます。スクラバーには、オートフォーカス機能とパワー調整機能を備えた30ワットのレーザーも装備されています。これにより、最適な洗浄性能を得るための高精度な調整が可能になります。DNS SSW-629Bは、キャビンスタイルのエンクロージャで設計されており、オペレータの安全性を最大化し、空中汚染を低減します。スクラバーの内部には強力な発煙抽出機があり、スクラバーの外から新鮮な空気を供給し、空気の再循環を防ぎ、危険な粒子への暴露を減らします。スクラバーには、デバイスの便利な制御を可能にするコントロールユニットも含まれています。これには、操作ログでスクラバー設定をプログラミングし、スクラバーの速度と方向を調整し、いつでもスクラブプロセスを監視する機能が含まれます。コントロールユニットは直感的な液晶ディスプレイも備えており、スクラバーの状態を簡単に監視し、必要な調整を行うことができます。ダイニッポンSSW 629Bは、粒子の汚染リスクを低減し、スクラビングプロセスの効率を最大限に高めるために設計された先進的なウェーハ&マスクスクラバーです。サーボ制御のエアベアリングツールやパワフルで調整可能なレーザーなど、最先端の機能を備えたスクラバーは、半導体基板やリソグラフィ光学系からの粒子除去に効率的で信頼性の高い安全なソリューションを提供します。