中古 DNS / DAINIPPON SSW-60A-AR #9409203 を販売中
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ID: 9409203
ウェーハサイズ: 6"
ヴィンテージ: 1998
Spin scrubber, 6"
Transfer robot
Loading position type: Left side
3-Colors signal tower
Non-SMIF
No GEM Controller
(2) Reverse units
Indexer unit:
(4) Cassette
Wafer defect sensor
Transfer robot (A type) X, Y and Z Axis
TR unit:
Dual arm transfer robot (Vacuum less) X1, X2, Y, Z and R Axis
Wafer defect sensor
Front-side spin unit 3:
Mechanical chuck type
Brush nozzle
Jet nozzle
DIW 1, DIW 2, Brush rinse, N2 Blow and N2 Purge
Front side unit 4:
Vacuum chuck
Bursh nozzle
Jet nozzle
DIW 1, DIW 2, Back rinse, D-Sonic rinse, Jet rinse, N2 Blow and N2 Purge
Spin motor missing
Side cabinet:
Jet pump
Megon cabinet
1998 vintage.
DNS/DAINIPPON SSW-60A-ARウェーハとマスクスクラバーは、シリコンウェーハの洗浄やマスクの切断に使用される高精度スクラバーです。DNS SSW60A-ARモデルは、パフォーマンスの向上と運用効率の向上を備えたSSW-60Aモデルからのアップグレードです。このマシンは、ジェット角と強度を調整してウェーハとマスクの両方を効果的に洗浄できるデュアルノズルジェットヘッドを備えた高度なウォータージェット洗浄装置を備えています。高速ウェーハブラシは、ウェーハやマスクから粒子や汚れを取り除き、様々なサイズ、形状、素材での作業が可能です。このスクラバーは、15インチの透明で非接触(TCNT)シンチレータを備えており、薄膜や粒子の高速で正確で信頼性の高い検出と測定を可能にします。内蔵の高解像度ミニラブシステムにより、ウェーハやマスクの詳細な検査画像を撮影することができ、その清潔度の分析と評価が可能です。また「、CX」モニタリングユニットをSS-W60A-ARすることで、清潔度の調整、ウェーハやマスクの再洗浄、洗浄工程のリアルタイム監視が可能です。スクラバーのオペレーティングマシンは、クリーニングパラメータの設定、クリーニングプロセスが成功したかどうかの決定、クリーニングウェーハとマスクの除去と保管の自動化など、さまざまな機能を自動的に実行するようにプログラムできます。安全性を高めるために、異常が検出された場合に自動的にスクラバーを停止させる安全検知ツールを備えており、また、塵の汚染を劇的に低減するエアシャワー資産を備えています。SSW-60A-ARはまた非常に有効、短いサイクル時間および低い電力の消費があります。全体として、DNS/DAINIPPON SSW 60A-ARウェーハとマスクスクラバーは、シリコンウェーハとマスクを清潔に保つために、高度で費用対効果の高い汎用性の高いマシンを探している人には必須です。優れた性能、ユーザーフレンドリーなインターフェース、幅広い機能を備えたダイニッポンSSW60A-ARスクラバーは、仕事を成し遂げることが保証されています。
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