中古 DNS / DAINIPPON SSW-60A-AR #9256945 を販売中

DNS / DAINIPPON SSW-60A-AR
ID: 9256945
ウェーハサイズ: 6"
Scrubbers, 6" Front and back-side Option: Bake (HP/CP).
DNS Screen DNS/DAINIPPON SSW-60A-AR Wafer and Mask Scrubberは、集積回路やその他の電子デバイスの製造に使用される半導体ウェーハやフォトマスクの表面を洗浄および調整するための汎用ツールです。このウェーハとマスクスクラバーは、1人のオペレータが最大6つのウェーハまたは4つのマスクを同時に迅速かつ効率的に洗浄してコンディションを整えることができるように設計されています。スクラバーは、化学溶液と超音波振動の組み合わせを利用して、ウェーハまたはマスクから汚れ、粒子、酸化物、およびその他の汚染物質を穏やかに除去します。DNS SSW60A-ARは、統合されたコントローラーシステムと多くのユーザーフレンドリーな機能を備えたフルオートメーションスクラバーです。スクラバーは、洗浄、脱イオン化、エッチング、すすぎ、乾燥などの一連のステップを通してサイクルするようにプログラムすることができます。これらのすべてのステップは、ユーザーのニーズを満たすために変更することができ、高度なプロセスの柔軟性を可能にします。スクラバーのチャンバーはステンレススチール製で、標準サイズ200、300、または400 mmのウェーハを最大6つ、標準サイズ#5、#8、または#7フォトマスクを4つまで収容できます。チャンバーには一連のステンレス製ブラシが装備されており、それぞれが最大25KHzの可変周波数で振動し、不要な材料を除去するための理想的な周波数でウェーハまたはマスクを効果的に洗浄します。このチャンバーには、汚染の種類と量に応じて、さまざまな洗浄薬品を使用することができる化学注入システムも含まれています。この注入システムは、一連の45度の傾斜ノズルを使用して、ウェーハまたはマスクに化学溶液を導き、表面全体に化学物質を均一に分布させます。ダイニッポンSS-W60A-ARは、脱イオン水の2つの高圧ジェットを使用した洗浄サイクルで、スクラブ後に残った残留粒子や材料を除去します。ジェット機は角度と圧力で調整可能で、ウェーハやマスクをすばやく徹底的に洗浄する最適な洗浄を可能にします。ダイニッポンSSW-60A-ARは、化学注入・スクラビングシステムを一体化しているほか、サイクルステップタイミングや温度・圧力値などの操作パラメータを表示するサイクルプログラマブルコントローラなど、ユーザーフレンドリーな機能も搭載しています。スクラバーは自動開始/停止機能も備えており、スクラバーはユーザー定義の間隔で自動的に開始/停止し、時間を節約し、最適な結果を保証することができます。DAINIPPON Screen DNS SSW 60A-AR Wafer and Mask Scrubberは、電子部品の製造に使用されるウェーハやマスクを洗浄して調整するための強力で汎用性の高いツールです。この完全に自動化されたスクラバーは使いやすく、ウエハーとマスクの最適な洗浄とコンディショニングのための一連のステップを通してサイクルするようにプログラムすることを可能にするユーザーフレンドリーな機能の多くが装備されています。
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