中古 DNS / DAINIPPON SSW-60A-AR #293689357 を販売中
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ID: 293689357
ウェーハサイズ: 6"
Spin scrubber, 6"
Non-SMIF Type
Loading position type: Left side
No GEM Controller
3-Colors signal tower
(2) Reverse units
Indexer unit:
Type: (4) Cassette
Wafer defect sensor and vaccumless A type
Transfer robot
TR Unit:
Dual arm transfer robot
Wafer defect sensor
Back-side spin unit:
Mechanical chuck
Brush nozzle
DIW1, DIW2, Back rinse, Brush rinse, N2 Blow and N2 Purge
Front-side unit:
Vacuum chuck
Brush nozzle
Jet nozzle
DIW1, DIW2, Back rinse, Jet rinse, N2 Blow and N2 Purge
Side cabinet:
Jet pump
Meghcon cabinet
R/D Rack
Missing parts:
Servo AMO
5-Axis drive
T/R Board
2000 vintage.
DNS/DAINIPPON SSW-60A-ARは、半導体業界のクリーニング要件を満たすように設計されたウェーハおよびマスクスクラバーです。クリーニングノズルやブラシを多種多様に使用し、効率的に洗浄し、ウェーハやマスク面を維持します。スクラバーには135度の調節可能なヘッドが装備されています。調節可能なヘッドは、化学スクラブ剤の適用に不可欠なウェーハ表面の精密クリーニングと角度制御を可能にします。さらに、スクラバーには、スクラブと乾燥プロセスを自動化する完全に自動化されたクリーニングシステムが装備されています。スクラバーは、強力で安定した洗浄性能を提供する高効率ブラシレスDCモータによって駆動されます。スクラバーにはオールメタル構造があり、優れた耐久性と生産アプリケーションの信頼性を保証します。さらに、スクラバーには、さまざまなウェーハおよびマスク洗浄アプリケーション用のさまざまな洗浄ノズルタイプが装備されています。このスクラバーは、CPU(化学処理)、ED(弾性変形)、PR-L(プライマー低減)などの超微細なクリーニングモードでスクラブすることができます。さらに、スクラバーは、毎分0。1から10,000回転までの幅広い洗浄速度を備えています。これらの速度は、スクラビングプロセスを細かく一貫した制御を提供します。スクラバーは、洗浄中に発生する粒子を排除するアンチクロッギング機能を備えているため、粒子環境を大幅に低減します。これにより、クリーンルーム内の精巧なパーティクル収集装置の必要性がなくなります。最後に、DNS SSW60A-ARは200mmおよび300mmを含む多くの異なったタイプのウエハサイズと互換性があります。これにより、スクラバーはさまざまな生産アプリケーションで使用できるようになります。結論として、DAINIPPON SS-W60A-ARは、汎用性と信頼性の高いウェーハとマスクスクラバーです。スクラバーは、ウェーハやマスク表面の精密な洗浄を実現し、高効率ブラシレスDCモータを搭載し、さまざまなウェーハサイズに対応しています。さらに、スクラバーは粒子のない洗浄環境を作り出すように設計されており、クリーンルームの生産アプリケーションに最適です。
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