中古 DNS / DAINIPPON SS-W80A-AVR #9256949 を販売中

DNS / DAINIPPON SS-W80A-AVR
ID: 9256949
ウェーハサイズ: 8"
Scrubber, 8" (2) Front and back side BPC With jet nozzle.
DNS/DAINIPPON SS-W80A-AVRは、半導体デバイス製造および研究用途向けに特別に設計された、高性能で先進的なウェーハ&マスクスクラバーです。DNS SS-W80A-AVRは、ウェーハ、マスク、フォトレジストなどのさまざまな種類の材料を洗浄するための選択可能な洗浄パラメータを備えた自動洗浄装置を備えています。このスクラバーは、2つの可変速度スピンドルモータと組み合わされた強力なモーターを使用して、一貫した洗浄速度を提供し、スクラビングプロセスを完全に制御します。DAINIPPON SSW-80A-AVRは、安全で最小限の粒子汚染のためのダストフィルターとエアフィルターを提供しています。統合されたPLC (Programmable Logic Controller)はユーザーの指定および条件に従ってシステム入出力の完全な制御を提供します。このユニットは、ウェーハやマスクを適切に取り扱い清掃するために、圧力、速度、時間、洗浄剤などのパラメータを事前に設定することができます。スクラバーはまた、残留物の蓄積を避け、すべての加工ウェハとマスクの均一性を維持するために自動逆回転モードを備えています。ダイニッポンSS-W80A-AVRは、ウェーハやマスクをスクラブするだけでなく、乾燥やエアクールダウンなどの高度な機能を搭載し、より高速な加工を実現しています。このスクラバーは、自動マスク洗浄およびクリーニングステーション、および自動ウェハスクラブ用のウェハトランスポートユニットを備えています。オプションの赤外線検出器と真空コンベアを使用することで、クリーニングプロセス中の粒子除去を改善できます。機械はまた郵送物の前に手動点検のための大きい点検窓を特色にします。DNS SSW-80A-AVRには、イオン化、アルゴンガスブランケット、リモートメンテナンスなどの追加機能のためのデイジーチェーン接続ケーブルとエアブローノズルが付属しています。スクラバーはまた、トラブルシューティングとポスト評価のためのFODテクニカルサポートをサポートしています。最後に、スクラバーを簡単にインストールでき、データロギングとメンテナンスの容易な機能のためのアクセシビリティが強化されたユーザーIDをサポートします。全体として、SSW-80A-AVRは半導体デバイスの製造と研究のために特別に設計された、高度で効率的なウェーハ&マスクスクラバーです。高精度で信頼性の高い洗浄のための2つの可変速度スピンドル、最小粒子汚染のための内蔵のダストフィルターとエアフィルター、利便性とパフォーマンス向上のためのさまざまな追加機能を備えた強力なモーターを提供します。スクラバーは設置とメンテナンスが容易で、幅広い用途に適しています。
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