中古 DNS / DAINIPPON SS-W80A-AVR #9095607 を販売中

DNS / DAINIPPON SS-W80A-AVR
ID: 9095607
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1996
Scrubber, 8", 1996 vintage.
DNS/DAINIPPON SS-W80A-AVR Wafer&Mask Scrubberは、半導体製造で使用される市販のウェーハやマスクを洗浄するための先進的な装置です。振動装置を使用してウェーハを掃除し、マスクから汚染物質を除去するスプレーノズルを使用しています。AVRモデルは、スクラブやクリーニングに効率的かつ効果的に組み立てられたユニットです。ウェーハ洗浄用の水平発振システムを採用し、振動周波数と振幅の柔軟性を実現しています。また、クリーニングエリアにウェーハやマスクを配置する際に正確に検出する光学センサーを内蔵しており、クリーニングプロセスが安全に行われていることを確認します。表面粒子を直接ターゲットにするために、異なるノズルを利用したデュアルレベルのスクラブにより、スクラブ性能がさらに向上します。AVRモデルはまた容易で、速くローディングおよび荷を下すことを可能にします。トレイローディングユニットは、ウェーハとマスクが自動的に洗浄用のスクラブチャンバーに供給され、その後に自動的にアンロードされるように設計されています。使いやすいタッチパネルの表示は機械を容易に作動させます。マシンはコンピュータに接続することもでき、ユニットの通信とリモート制御を可能にします。DNS SS-W80A-AVR Wafer&Mask Scrubberには、高度なドライクリーニング機能が装備されています。オゾン、活性酸素、乾燥空気を利用して、徹底した洗浄を行います。この機能によって生成される空気排気は、ユニットの背面から排出され、よりクリーンな作業環境を提供します。AVRモデルのスクラビングプロセスは、オープンループのベクトル制御ドライブによって駆動されます。この高度な駆動ツールは、ユニットの精密な性能とスムーズな動作を可能にします。さらに、排気アセットは、メンテナンスの頻度を制限する自動ブローバック排気モデルを備えています。ダイニッポンSSW-80A-AVRウェーハ&マスクスクラバーは、半導体製造で使用される市販のウェーハやマスクを洗浄・洗浄するために特別に設計された強力で効率的なユニットです。その堅牢な構造と高度な機能は、クリーニングプロセスが一貫してスムーズに実行されることを保証します。
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