中古 DNS / DAINIPPON SS-W80A-AVR #293591705 を販売中

DNS/DAINIPPON SS-W80A-AVRウェーハ&マスクスクラバーは、最も困難で複雑な表面汚染の問題に対処するために使用できる自動ウェーハおよびマスククリーニング装置です。独自の圧力プロセスと化学プロセスを組み合わせて、半導体製造で使用されるウェーハとマスクの両方の表面で最高レベルの清浄度を達成しています。システムはプラットホームに取付けられる統合されたスクラビングモジュールから成り、圧力容器、サポート基盤、化学貯蔵所、スクラビングブラシおよび化学注入の単位を含む多数の部品から、成っています。圧力容器は、直径450mmまでのウェーハ、幅300mmまでのマスクを取り扱うように設計されています。低温化学溶液と組み合わせて、基板表面から粒子、土壌、有機残留物を除去するように設計されています。サポート基盤は圧力容器を握り、圧力容器が別のクリーニングサイクルの条件に従って持ち上がるか、または下げることができる調節可能なプラットホームを提供します。また、スクラビングモジュール、ケミカルリザーバー、射出機械を取り付けるプラットフォームとしても機能します。スクラビングユニットは、スクラビングプロセス中に基板を保持するために使用される一連のウエハーおよびマスクホルダー治具を含む円筒形ハウジングです。スクラビングブラシは、基板表面の効果的な洗浄を提供するために、ユニットの上部に取り付けられています。化学貯水池はプロセスのためのクリーニングの解決の供給を提供します。精密な化学混合比と流量を可能にする温度制御ツールで、最適な洗浄結果を得ることができます。注入の資産は圧力容器に熱くされた、事前に混合されたクリーニングの解決を注入するように設計されています。これにより、基板が均等かつ徹底的にクリーニングソリューションでコーティングされていることが保証され、一貫したクリーニング結果を保証するのに役立ちます。クリーニングユニットに加えて、モニターコントローラなどの一連の監視および制御装置も搭載しています。このコンポーネントは、装置がプロセス全体にわたって最適な性能と清潔さを維持するように設計されています。DNS SS-W80A-AVRウェーハおよびマスクスクラバーは、基板表面の最高レベルの洗浄結果を提供します。統合された設計、自動化されたクリーニングおよび精密圧力容器によって、それは最も要求の厳しいウエハおよびマスクのクリーニングおよび汚染物の取り外しの塗布のための理想的な解決です。