中古 DNS / DAINIPPON SS-W80A-AR #9364251 を販売中
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DNS/DAINIPPON SS-W80A-ARは、半導体製造で使用されるウェーハやマスクの洗浄を自動化するために設計されたウェーハおよびマスクスクラバー機です。ユニークなエアスクラビングプロセスを使用して、ウェーハ表面の汚れをやさしく除去し、マスク表面の残留物やフォトレジストなどの光学的に透明な層をきれいにします。エアースクラバーは、手動技術よりも優れた、より速く、より正確な洗浄を可能にし、半導体デバイスの生産ラインで不可欠なツールです。DNS SSW80A-ARウェーハスクラバーは、5軸フレキシブルアームで設計されており、スクラビングプロセス中にウェーハ表面の完全なカバレッジを確保するために、ウェーハの上部、下部、側面にアクセスすることができます。これにより、スクラバーは、ラッピングおよび研磨プロセス中にウェーハ表面に汚染を引き起こす可能性のある到達困難な領域から破片を除去することができます。さらに、スクラビングアームは、異なるウエハサイズと材料に対応するようにカスタマイズすることができます。スクラバーにウェーハを装填すると、スクラバーは高速のエアストリームを使用してパーティクルを除去します。エアストリームは、円形のファンのように見えるノズルのシリーズから作成されます。洗浄プロセスは、前洗浄、洗浄、洗浄、最終洗浄の4段階で行われます。また、エアスクラビングプロセスは、ウエハーの汚染をさらに低減するために、独自の界面活性剤を使用しています。安全性の観点から、スクラバーは、研磨スクラビングプロセスから生成されるブロー・アウト粒子やほこりからプロセス環境を保護します。これは、HEPA （High Efficiency Particulate Air）フィルターを使用して、プロセス環境に侵入した粒子や塵をトラップすることによって実現されます。これは、ウェーハのスクラビングプロセスのためのクリーンで安全な作業環境を作成するのに役立ちます。最後に、ダイニッポンSSW-80A-ARには自動制御システムがあり、集中制御ステーションからスクラビングプロセスを簡単に操作および監視することができます。また、ウェーハ上で検出された汚染レベルのフィードバックを提供し、異常が発生した場合にはオペレータに通知します。これは、生産プロセスが汚染のリスクを最小限に抑えてスムーズに実行されるようにするのに役立ちます。DAINIPPON SSW80A-ARは全体的に、半導体の製造に使用されるウェーハやマスクの洗浄を支援する効率的なツールです。自動化された制御システムにより、監視と操作が容易になり、高度なエアスクラブ技術により、汚染のリスクを最小限に抑えながら、安全な作業環境を提供します。
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