中古 DNS / DAINIPPON SS-W80A-AR #9280571 を販売中

DNS/DAINIPPON SS-W80A-ARは、ポストリソグラフィープロセス用に設計されたウェーハおよびマスクスクラバーです。このシステムは、製造プロセスのコストを削減しながら、信頼性と生産性を提供します。DNS SSW80A-ARは、ウェーハとマスクの両方の表面をスクラブすることができ、より高い品質のリソグラフィとより滑らかな表面を可能にします。ウェーハスクラバーは、ウェーハから粒子、ほこり、その他の汚染物質を除去し、リソグラフィの精度と均一性を向上させることができます。また、従来のウェットスクラブ方式に比べてエッチング性能が向上しています。DAINIPPON SSW-80A-ARには、1段の半導体グレードのスクラバーコンタクトヘッドがあります。コンタクトヘッドは圧力調節可能で、均一で一貫したスクラブを可能にします。このスクラバーはまた、高張力フィルムを使用して、ウェーハとスクラバーヘッドの間の密接な接触を確保します。このスクラバーは、機械的および化学的スクラビング方法の両方を利用して、革新的な2段ウェーハスクラビングプロセスを備えています。メカニカルスクラビングステップは、1分間に18,000回転を使用してウェーハとマスクをスクラブし、ほこりや汚れを薄くタイトなコーナーから除去します。化学スクラビングステップは、化学エッチング剤の用途に高圧シャワーを使用しています。SS W80A ARスクラバーは、内部部品の過熱を防ぐ効果的なクーラント循環システムでも設計されています。さらに、自動クリーニング機能と安全開口カバーが付属しています。全体として、DNS SS-W80A-ARは信頼性が高く効率的なウェーハとマスクスクラバーです。DNS SSW-80A-ARは、ウェーハ表面とマスク面の両方から汚れ、ほこり、破片を除去するように設計されており、優れた精度と均一性を提供します。2段階スクラビングプロセス、圧力調節可能なコンタクトヘッド、革新的なクーラント循環システムを備えたこのスクラバーは、高度なリトグラフ後処理に最適です。