中古 DNS / DAINIPPON SS-W80A-AR #9195905 を販売中
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DNS/DAINIPPON SS-W80A-ARウェーハ&マスクスクラバーは、高効率で信頼性の高い半自動ウェーハ&マスクスクラバーで、幅広い基板に包括的な洗浄ソリューションを提供します。フォトマスク、ハードマスク、半永久的なマスクなど、さまざまなマスクを洗浄することができます。スクラバーは、敏感な基材を傷つけることなく、汚染物質をできるだけ徹底的に除去する独自のスクラブ方式を採用しています。スクラビングプロセスは、ウェーハとマスクスクスクラバーの円形ベースの自動回転から始まります。ロボットアームの端に研磨ブラシを取り付け、アームを回転させてマスクの表面をこすります。研磨ブラシは、繊細な基材を傷つけることなく、表面から粒子、破片、汚染物質を除去するように設計されています。回転運動はまたスクラブが均等にそして一貫して行われることを保障します。DNS SSW80A-ARには、基板の均一で効率的な洗浄を提供するために特別に設計されたクリーニングバスも装備されています。有機クリーニングバスとミネラルクリーニングバスの2つの独立したお風呂で構成されています。有機クリーニングバスは、汚染物質を溶解し、個々の成分に分解するさまざまな化学物質で構成されています。ミネラルクリーニングバスでは、汚染物質はさらに分解され、基板から取り除かれます。洗浄槽はまた、基板上の残留物や汚染が完全に除去されることを保証します。スクラバーには、安全で効率的な洗浄手順を保証するさまざまな安全機能もあります。それは基質の水を検出し、ある特定の安全なレベルを超過すればスクラバーを締める水センサーを含んでいます。これは汚染されることから水の保護を保障します。また、スクラビングプロセスとスクラビングバスに粒子が通過するのを防ぐフィルターシステムを備えています。DAINIPPON SSW-80A-ARのユーザーフレンドリーなインターフェースにより、スクラビングパラメータの簡単なカスタマイズと調整が可能です。このユーザーフレンドリーな設計は、セットアップと操作に必要な作業時間と手作業の量を削減するのに役立ちます。スクラバーには、システムのパフォーマンスと効率を追跡するためのユニークな監視システムも付属しています。DNS SSW-80A-ARは、ウェーハやマスクスクラブの高度な精度と効率を必要とするお客様に最適です。独自のスクラブ方法、2つの独立したクリーニングバス、さまざまな安全機能により、幅広い用途に理想的なソリューションを提供します。それは一貫した、信頼できる結果を提供する信頼できる、信頼できる機械です。
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