中古 DNS / DAINIPPON SS-W80A-AR #9158219 を販売中

ID: 9158219
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1996
Backside scrubber, 8" Parts missing 1996 vintage.
DNS/DAINIPPON SS-W80A-ARは、フォトリソグラフィープロセスで使用される高度なウェーハおよびマスクスクラバーです。それは直径8インチまでウェーハおよびマスクのために設計され、調節可能な高さおよび角度の設定の使いやすいインターフェイスを特色にします。DNS SSW80A-ARには、ブラシレスモーターによって駆動される2つの独立したスクラビングアームが装備されています。これにより、ウェーハ表面とマスク面の両方を迅速かつ効果的にスクラブすることができます。スクラビングアームには、スクラビングプロセス中の粒子を最小限に抑えるように設計されたフォームスクラビングパッドが装備されています。これらのパッドは必要に応じて交換することができ、ウエハやマスクをスクラブするカスタムフィットに調整することができます。さらに、スクラバーは特定の設定に合わせて校正することができ、加工されているウェーハとマスクのさまざまなサイズと形状にわたって正確で一貫したスクラブを保証します。DAINIPPON SSW-80A-ARは、スクラビングプロセスの直感的なビューを提供し、スクラバーのパフォーマンスをオペレータに通知するデジタルディスプレイも備えています。このディスプレイはまた、スクラブ中に発生する問題をユーザーに通知します。オペレータはまた仕事の必要性に最もよく適するためにスクラビングアームの速度そして角度を調節できます。DNS/DAINIPPON SSW-80A-ARは、完全に自動化されるように設計されており、ユーザー入力を最小限に抑える必要があります。ジョブが設定されると、スクラビングアームは自動的に動作を開始し、事前設定されたパラメータに従って正確にスクラビングプロセスを完了します。スクラバーは赤外線センサーを使用して、ウェーハまたはマスクのサイズと位置を正確に検出し、スクラブ処理中の精度と速度を向上させます。高度なスクラブ機能に加えて、SSW-80A-ARは旋回および回転ウェーハおよびマスク回転機能も備えています。スクラバーには、特定の種類のクリーニングソリューションを分配してスクラビングプロセスを支援するケミカルデリバリーシステムもあります。全体として、DNS/DAINIPPON SSW 80A-ARは、効率的かつ正確にウェーハとマスクの表面をスクラブするように設計された高度なウェーハおよびマスクスクラバーです。それは調節可能なスクラブおよび角度の設定、使いやすいデジタル表示装置および旋回装置および回転機能を特色にします。このスクラバーは、粒子を最小限に抑え、ウェーハやマスク表面を迅速かつ効率的に正確にスクラブするように設計されています。
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