中古 DNS / DAINIPPON SS-W80A-AR #9158049 を販売中

DNS / DAINIPPON SS-W80A-AR
ID: 9158049
ウェーハサイズ: 8"
Wafer spin scrubber, 8" Industrial controller Digital I/O controller WPH Upgraded Spin Motor / Driver Servo Motor / Driver for INR and WTR Robots Wafer level processing and command Real time process log Online communication (SECS/GEM) option Real time wafer and lot tracking Inch conversion for both silicon wafer and LED sapphire substrate Spin scrubbing method modification (High Pressure Jet, D-Sonic, Nanospray) Spin unit modification (Front Side, Back Side, Double Sides) Wafer flow modification (Left to Right or Right to Left).
DNS/DAINIPPON SS-W80A-AR Wafer&Mask Scrubberは、半導体の生産やその他の関連タスク向けに設計された、信頼性の高い包括的なスクラブ装置です。シリコンウェーハやフォトリソグラフィカルマスクなどの重要な表面からの除去しにくい汚染物質の除去に優れた性能を発揮します。DNS SSW80A-ARは、Dual Action Interfacing Node (DAIN)やDynamic Particle Suppression (DPS)などの高度な技術を採用しています。DAINは、洗浄されている表面全体の両方の方向に効率的なスクラブを可能にする特許取得済みの技術であり、DPSは、粒子移動を最小限に抑える低騒音、低振動、柔らかいスクラブを備えています。これらの技術を組み合わせることで、ダイニッポンSSW-80A-ARは極めて効果的な粒子除去をワンパスで実現することができます。高度なQ-Controlシステムを搭載し、最適なスクラブ圧力、速度、方向を自動的に検出して調整することでクリーニングを開始します。Q-Controlはまた、キー要素と動作パラメータが重複しないようにダブルチェックバルブの安全性のユニークなユニットを使用しています。DAINIPPON SS-W80A-ARは高度に自動化されており、直感的なタッチスクリーンコントローラにより、スクラビングプロセスの容易なナビゲーションと可視性をリアルタイムで実現します。コントローラは最大10のオンラインレシピをサポートし、クリーニングプログラム、診断スライド、追加のレシピストレージ、バックアップパワー、リモートコントロールなど、さまざまなアプリケーションを事前にプログラムすることができます。このスクラバーは耐久性が高く、今日の超精密半導体製造環境の要件を満たすように設計されています。熱水回路と冷水回路、視認性を高めるLED照明、高精度のモーションコントロールと動的配置により、最大限の効率を実現しています。また、外部環境の乱れを最小限に抑えたコンパクトな設計を実現しています。全体として、大日本SS W80A ARウェーハ&マスクスクラバーは、さまざまな重要な生産アプリケーションに最適なソリューションです。取り外しにくい汚染物質の除去性能に優れ、直感的なタッチスクリーンコントローラやQ-Control Machineなどの高度な機能により、高度に自動化され、リアルタイムで監視が容易になります。その耐久性のある構造とコンパクトな設計のおかげで、スクラバーは今日の超精密環境の厳しい要件を満たすように設計されています。
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