中古 DNS / DAINIPPON SS-W80A-AR #9149127 を販売中

DNS/DAINIPPON SS-W80A-AR Wafer&Mask Scrubberは、半導体フォトマスクの洗浄用に特別に設計された、コンパクトな自動スクラブ装置です。このシステムは、ウェーハスクラバー、マスクスクラバー、プレドライヤーの3つのスクラビングモジュールで構成されています。ウェーハスクラバーモジュールは、最大8つの6インチウェーハカセットをサポートするユニバーサルトランスポートユニットで構成されています。3軸の高解像度自動ウェーハ回転子を搭載し、直径200mmまでのレチクルをはじめ、さまざまなウェーハサイズの回転が可能です。その後、ウェーハをスピンスプレーし、洗剤溶液でスプレーして徹底的な洗浄を行い、高圧洗浄を行います。マスクスクラバーモジュールは、液体ブロンズマスクを洗浄するために設計されており、最適なスクラブ角度に自動的に配置された3軸ロボットメカニカルアームで構成されています。これにより、すべての表面欠陥がマスクから効果的に除去されます。その後、マスクはスピンスプレーされ、洗剤溶液で洗浄され、続いて高圧洗浄されます。プレドライヤーモジュールはホットプレート乾燥工具で、表面温度の上昇によるウェーハやマスクのスクラブから残留ガスを遮断します。このアセットは、最高温度800°Cに達することができる電気ヒーターと、ホットプレートの熱および電圧変化を検出するための信号検出モデルで構成されています。この装置には、乾燥サイクルを正確に制御できる2段階の温度タイマーも装備されています。DNS SSW80A-ARは、半導体フォトマスクの効果的な洗浄システムとして設計されています。モジュラー設計により、3つのスクラビングモジュールすべてを同時に使用できるため、1工程で最大8個の6インチウェーハと最大60枚のマスクを高効率で洗浄できます。さらに、ホットプレート・プレドライヤーは、ウェーハやマスク表面に残留ガスが残らないことを保証し、信頼性の高い材料加工を可能にします。