中古 DNS / DAINIPPON SS-W80A-AR #9023762 を販売中
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販売された
ID: 9023762
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1995
Scrubber, 8"
(4) Cassette stage
(3) Front, (1) back, (2) reverse
Main controller: NEC computer
I-Robot Type:
Vacuum arm
Ceramic Pincette
Laser diode type mapping sensor
P-Robot Type:
(2) Wafer transfer main robots
Indexer:
(4) Cassette carrier station
(25) Wafer slots cassette
Scrubber:
Right arm bush (1 nozzle)
left arm D-sonic nozzle
Spin servo motor
(1) Nozzle wafer backside rinse
Cup Exhaust flow monitor with interlock
Rinse, back-rinse nozzle with flowmeter
Digital vacuum sensors and interlocked for spin unit
Currently stored in cleanroom
1995 vintage.
DNS/DAINIPPON SS-W80A-ARは、半導体製造に使用される完全自動化されたウェーハおよびマスクスクラバーです。直径8インチまでの幅広いウェーハとレチクルに対応するように設計されています。この装置は、1つのレチクルを1つの「スクラブパス」と3つの「スクラブパス」で同時に洗浄することができます。また、バッチ処理も可能で、複数のレチクルを同時にスクラブすることができます。DSNS SSW80A-ARの高速クリーニングシステムは、2つの独立したブラッシングメカニズムと2つの独立したクリーニングソリューションによって駆動されます。その可変的な速度制御は3000rpmの最高速度の非常に精密なスクラブアクションを可能にします。さらに、エアロゾル化または空中粒子の発生量を削減する独自の2つのノズル設計を採用し、よりクリーンな作業環境を確保しています。このマスクスクラバーは、効率と精度を向上させるためのいくつかの高度な機能を提供します。例えば、そのHDの自動積込み機は部分の一定した供給率を維持します、従って部分が見落とされないことを保障します。タイマーを内蔵することで、タイムスクラビングシーケンスをプログラミングして精度を高めることもできます。さらに、このマシンにはさまざまなクリーニングソリューションとファブリックフィルターが付属しており、さまざまなクリーニングオプションをユーザーに提供します。DAINIPPON SSW-80A-ARは、潜在的な損傷または損傷のオペレータに警告する警告灯、電源オン/オフ用の外部電源スイッチ、緊急停止スイッチなどの機能を備え、最大限の安全性を実現しています。さらに、高品質な構造は、優れた信頼性と長期的な耐久性を提供するように設計されています。DNS/DAINIPPON SS W80A ARは高度なウェーハおよびマスクスクラバーで、集中生産環境に最適です。強力なクリーニングツール、精密な調整機能、高効率設計により、半導体製造に最適です。
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