中古 DNS / DAINIPPON SS-W80A-A #9306111 を販売中

DNS / DAINIPPON SS-W80A-A
ID: 9306111
ヴィンテージ: 1997
Scrubber Nano spray 1997 vintage.
DNS/DAINIPPON SS-W80A-Aウェーハ&マスクスクラバーは、集積回路製造のフォトリソグラフィープロセスで使用される光学部品を洗浄するために特別に設計されています。スクラビングユニットとトランスポートユニットの2つの主要コンポーネントで構成されています。スクラビングユニットは、ウェーハ表面のクリーニング動作を行います。紫外線(UV)ランプとクリアガラスの粗いスクラビングディスクを組み合わせた強力で調整可能なスクラビングホイールモーターを備えています。スクラビングホイールモーターは、滑らかで一貫したスクラブアクションを容易にするように設計されています。UVランプは、残留汚染物質が照射され、簡単に除去されるようにします。粗いスクラビングディスクは、頑固な粒子や汚染物質を除去するのに効果的です。搬送ユニットは、スクラビングユニットを介してウェーハまたはマスクの一貫した正確な動きを提供するように設計されています。これは、複数のローラーキャリッジと回転ローラーホイールを搭載した電動トラックシステムを使用して達成されます。キャリッジとホイールは、ウェーハまたはマスクの滑らかで効率的で正確な転送を容易にするように設計されています。DNS SSW 80A Aは、集積回路製造に使用されるウェーハやマスクを洗浄するための使いやすく費用対効果の高いソリューションです。ホコリや汚れなどの表面汚染物質を洗浄することができ、フォトリソグラフィの前にウェーハやマスクをきれいにすることができます。操作は安全、有効、低い維持です。さらに、スクラビングユニットとトランスポートユニットを組み合わせることで、さまざまなホールパターンで幅広い基板サイズをサポートします。
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