中古 DNS / DAINIPPON SS-W80A-A #9306109 を販売中

DNS/DAINIPPON SS-W80A-Aは、DNS Screen Co。の先進的なウェーハおよびマスクスクラバー装置です。このウェーハ&マスクスクラバーは、既存のクリーンルーム処理システムに簡単に統合できる自動スタンドアロンシステムです。DNS SSW 80A Aは、高度な「ウェーハ周辺」スクラブ技術を使用して、半導体プロセスウェーハおよびフォトマスクの表面から粒子、イオン汚染などを自動的に除去します。DAINIPPON SSW_80A_Aは、フォトマスクやウェーハから粒子を除去するための実績のある経済的な方法で設計されています。このユニットには、革新的な「ウェーハ周り」スクラブ技術が搭載されており、スクラビングヘッドがウェーハ表面の偏心運動で回転し、粒子の数を減らすことができます。20 rpm以上の高精度スクラブが可能です。スクラビングヘッドの動きは調節可能であり、ウェーハまたはフォトマスクの形状に合わせて調整することができ、材料廃棄物を最小限に抑えた完全なクレンジングカバレッジを提供します。また、スクラビング時にウェーハ表面の異常を検知することができ、すべてのウェーハ表面を正確に洗浄することができます。SS-W80A-Aは安全性と信頼性を念頭に設計されています。ウエハとマスクごとに最適なスクラビングストロークのシーケンスとレートを提供する高度な制御ツールを備えています。また、スクラビングストロークの柔軟なタイミングを提供し、事前クリーン検査のデータに対応します。アセットにはグラフィカルユーザーインターフェイスがあり、モデルを簡単かつ直感的に操作できます。装置にまた高度な特徴の配列があります。それは残余の自由な表面の望ましいレベルを維持するために肯定的な、否定的なフォトレジストを、洗浄することができます。また、ウェーハのスクライビングとビード除去ラインをきれいにしてウェーハの寿命を延ばすこともできます。このシステムには強力な吸引装置があり、粒子を効果的でほこりのない方法で抽出して取り出すことができます。また、高度な化学管理ユニットを備えており、ユーザーは化学廃棄物を迅速かつ簡単に管理することができます。全体として、DNS SS-W80A-Aウェーハおよびマスクスクラバーは、ウェーハとフォトマスクの両方を洗浄するための信頼性が高く効率的な機械です。完全に自動化されカスタマイズ可能なスクラブ技術と直感的なユーザーインターフェースにより、このツールはさまざまな半導体プロセスおよび生産アプリケーションに最適です。