中古 DNS / DAINIPPON SS-W80-AR #293625927 を販売中

DNS/DAINIPPON SS-W80-ARは、DNS Ink and Chemicals Inc。が開発した自動ウェーハ&マスクスクラバーです。このスクラバーは、最大80枚のウェーハとマスクを一度に洗浄することができます。スクラバーは効率的で反復可能なシングルウェーハスクラブを提供するように設計されており、エンドユーザーは均一なウェーハクリーニングプロセスを実現できます。スクラバーは、固定角度、デュアルタンク設計を備えています。主なタンクはスクラブ処理に使用され、2番目のタンクは洗浄に使用されます。スクラバーにはスロットトップデッキもあり、ウェーハとマスクを洗浄するために回転させることができます。スクラバーは、10分の事前浸漬期間を含む30分のサイクルタイムで動作します。スクラビングプロセスは、ノズルとブラシを使用して達成されます。スクラバーには、2つの異なるブラシパターンと5つのノズルヘッドが装備されています。ノズルヘッドは、固定圧力と水流量で定義された洗浄レベルを提供するように設定されています。スクラバーには、2つのポンプシステムと水のオーバーフロー制御も含まれています。スクラバーには4軸プログラム可能なモーションコントロールシステムも装備されており、ユーザーはスクラビングモーションをカスタマイズできます。このシステムは、ユーザーがスクラブの速度と角度だけでなく、スクラブのプロセス中にウェーハの回転、角度、深さを制御することができます。スクラバーには、操作を制御するためのユーザーフレンドリーなグラフィカルインターフェイスも備えています。このインターフェイスを使用すると、スクラビングパラメータをカスタマイズし、LCDディスプレイを介してクリーニング結果を表示できます。また、オペレータや機器を悪条件から保護するための安全対策も備えています。これには、マシンが最大温度に達した場合の自動シャットオフスイッチ、内蔵のアラームシステム、および追加の安全性のための蓋ロックが含まれます。DNS SS-W80A-Rスクラバーの全体的な設計は、繰り返し可能で一貫した自動化されたシングルウェーハ洗浄を提供します。ユーザーフレンドリーなグラフィカルインターフェイスと安全対策を組み合わせると、このスクラバーは効率的で信頼性の高いソリューションを探しているユーザーにとって理想的な選択肢です。