中古 DNS / DAINIPPON SS-W60A-A #9306100 を販売中

DNS / DAINIPPON SS-W60A-A
ID: 9306100
ヴィンテージ: 2000
Scrubber 2000 vintage.
DNS/DAINIPPON SS-W60A-Aウェーハ&マスクスクラバーは、半導体デバイスおよびマスクの洗浄および洗浄用に設計された完全自動ウェットステーションです。パターン化された基板やマスクの超清浄スクラブに最適で、高い清潔度、再現性、非接触スクラブが特徴です。スクラビングステーションには、超高精度制御を備えたデバイスレベルのスクラビング装置が装備されています。スクラビングシステムは、統合スクラビングヘッドを備えたスクラビングアーム、オンボードスクラビングソリューションタンク、およびデバイスまたはマスク全体の完全スクラビングカバレッジを確保するための位置相対位置制御(RRPC)技術で構成されています。スクラビングソリューションは、正確なタイミングの石英バルブによって非常に高い圧力で注入され、スクラブを確実にすることができます。さらに粒子を減らすために、スクラビングステーションには粉塵除去ユニットが取り付けられており、デバイスまたはマスクに接触する前に空気中の粒子を排除します。スクラビングステーションには、ウエハーやマスクの残留汚染を不活性化する紫外線除染器もあります。ウェーハ&マスクスクラビングステーションは、シンプルなワンボタン操作で、信頼性が高くユーザーフレンドリーです。また、ウェーハやマスクのスクラブ履歴を記録する統合監査機を備えており、スクラブの仕組みについてのデータを収集しています。これにより、スクラブの状態や傾向を詳細に分析することができます。全体的に、DNS SS-W60A-Aウェーハ&マスクスクラバーは、ウェーハとマスクの超きれいなスクラビングのための優れたプラットフォームを提供します。それは非常に信頼性が高く、ユーザーフレンドリーで、高いレベルの清潔さ、再現性、ほこり除去、および紫外線除染を特色にします。このデバイスは、優れたスクラブ性能を提供し、すべてのデバイスまたはマスクの正確かつ完全なカバレッジを保証します。
まだレビューはありません