中古 DNS / DAINIPPON SS-W60A-A #293753903 を販売中
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DNS/DAINIPPON SS-W60A-Aウェーハおよびマスクスクラバーは、半導体ウェーハおよびレチクルまたはマスクの効率的で汚染のない洗浄を提供するように設計された精密機械です。独自の超精密クリーニングヘッドはナノメートル精度を備えており、最も複雑な形状のクリーンな表面を生成することができます。DNS SS-W60A-Aは、高圧空気、超音波エネルギー、および高圧液体の流れの組み合わせを使用して、平坦、段差、凹面、凸面から最も頑固な汚染物質を除去します。スクラバーの中心には高度な光学3軸アライメントシステムがあり、固定クリーニングヘッドに対するレチクルまたはウェーハの高精度で再現可能なアライメントを保証します。これにより、複雑なパターンや表面から汚染を正確かつ一貫して除去することができます。このスクラバーは、高圧液体システムとマイクロクリーニングジェットにより、微粒子と高レベルの汚染物質の両方が可能です。また、スクラバーは特別に設計されたリンスユニットを使用しており、最高純度のウェーハまたはマスク洗浄結果を提供することができます。このユニットは、リンス貯水池から脱オン水を収集し、洗浄中に微粒子やジェットに噴霧するように設計されており、一貫した再現性のある洗浄結果を保証します。ダイニッポンSSW-60A-Aは、洗浄ヘッドと洗浄ヘッドの両方に調整可能な圧力設定を含む、自動制御の範囲による優れた洗浄結果を提供します。スクラバーには特許取得済みの洗浄ノズルも装備されており、均一な洗浄結果が得られます。ノズルは特に狭いスペースに到達し、最も徹底的な洗浄を保証するように設計されています。最後に、DAINIPPON SS-W60A-Aは信頼性が高く、効率的で再現性のある洗浄プロセスを提供します。スクラバーは正確にクリーニングプロセスを制御することができ、繰り返し可能な、事前にプログラムされたクリーニングシーケンスに設定するか、ユーザーが手動で調整することができます。さらに、スクラバーには便利な監視機能が含まれており、ユーザーはクリーニングプロセスを追跡し、毎回最適な結果を保証することができます。
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