中古 DNS / DAINIPPON SS-80 #293751256 を販売中

DNS/DAINIPPON SS-80は、半導体製造装置の効率的かつ安全な洗浄のために設計された、自動化されたユーザーフレンドリーなウェーハおよびマスクスクラブ装置です。DNS SS-80は、ウェーハおよびマスクスクラブ用の堅牢でコンパクトなソリューションであり、業界最高レベルのプロセス純度を提供します。洗浄システムは、完全に自動化され、任意の生産アプリケーションの特定のニーズに合わせて調整することができ、マルチステップウェットスクラビングプロセスで動作します。このユニットは、スクラビングモジュール、スピンリンスモジュール、加熱乾燥モジュール、化学分配モジュールの4つのモジュールで構成されています。スクラビングモジュールは、再循環スクラビング剤で10バールの圧力までウェーハ表面を噴霧して攪拌することでウェーハ表面洗浄を行い、ウェーハ基板温度を監視し、正確な温度制御を提供します。スピンリンスモジュールは、ウェーハとマスク面を均一に回転させて最適な結果を得ることにより、高度なドライスクラビングプロセスを提供します。加熱乾燥プロセスは調整可能で、最大80°Cの温度に達することができ、スクラビングプロセスの後で完全かつ効率的な乾燥を保証します。最後に、化学分配モジュールは、化学物質と洗剤を均一かつ安全に分配し、分配します。また、ダイニッポンSS-80は、高度な安全機能を内蔵しているため、制御された環境下や絶縁下でも動作することができます。フレームはISOクラスのクリーンルーム規格で設計されており、エアタイトマシンを使用してスクラビングプロセス中に制御された動作環境を確保しています。粉塵やパーティクルフィルターと一緒に、SS-80は空気汚染を最小限に抑えた高精度のスクラビングツールを保証します。DNS/DAINIPPON SS-80は、最大8インチのサイズのウェーハに対応し、フォトレジストフィルム、マスキング材、ペースト、EPSフォーム、ワイヤーボンドテープなど、さまざまな材料を効果的に洗浄できます。金メッキ、電気めっき、IC、純金プロセスにも適しています。DNS SS-80は、効率的なウェーハスクラブとマスククリーニングに最適なソリューションです。高度な機能、直感的なインターフェース、高品質で制御されたスクラブ環境により、自動洗浄アプリケーションに最適なSS-80です。