中古 DNS / DAINIPPON SS-3100 #293616063 を販売中
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ID: 293616063
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2012
Wet clean wafer scrubber
SMIF System: (4) SHINKO Selop loadports
Accessories: Remote AC box
Handler system:
Indexer robot
Transfer robot
PASS Transfer
(4) SS Chucks
(4) SSR Chucks
(2) Reversers
Process chamber:
SC1
CO2 Water
Spin rinse dryer
Front and back chamber:
(4) Vacuum chucks
(4) SC1 Nozzles
(4) CO2 Rinse dryers
(4) Brush clean scans
(4) Bevel brushes
(4) Nanospray scans
2012 vintage.
DNS/DAINIPPON SS-3100ウェーハとマスクスクラバーは、信頼性が高く使いやすい洗浄装置です。フォトマスクおよびウェーハ加工業界向けに特別に設計されており、高い効率と自動化を必要とする生産レベルの表面スクラビングプロセスに最適なソリューションです。DNS SS-3100は柔軟なスクラブヘッドで設計されており、生産性を最大限に高めています。これは、専用の標準的なスクラブヘッドのフルレンジを備えており、さまざまなタスクのスクラビングプロセスをカスタマイズする柔軟性を提供します。さらに、スクラビングプロセスで使用される誘電板は、摩耗または損傷を最小限に抑えて、純粋でスクラブされた表面を促進するように特別に設計されています。人間工学に基づいた設計で、ウェーハスクラブの速度や強度から表面レベルの設定まで、すべてのクリーニングパラメータに簡単にアクセスできます。DAINIPPON SS 3100には、洗浄プロセスを強化する高度な機能も多数搭載されています。オペレータに故障やユニットの問題を知らせる高度なアラームシステムが装備されています。また、リアルタイムクリーニングマシンのステータスとデータを表示するデジタルディスプレイモニターも含まれています。さらに、ユニットのスクラビングモジュールは、ユーザーの好みに応じてクリーニング速度と強度を調整するようにプログラムされています。SS 3100はまた、優れた化学効率を提供し、水と化学物質の最小限の量を使用します。これにより、大幅なコスト削減と環境負荷の低減が可能になります。ユニットは、機器を操作するオペレータの保護だけでなく、環境の保護を確保するために、いくつかの安全機能で設計されています。頑丈なハウジングで建設され、幅広い国際的な健康と安全基準を満たしています。DAINIPPON SS-3100は、あらゆる高レベルのスクラビングプロセスに最適なソリューションであり、使用、維持、輸送が簡単です。それは信頼できる性能および効率およびオートメーションの高レベルを提供します。DNS/DAINIPPON SS 3100は、高度な機能、化学効率、安全性を備え、あらゆる生産レベルの表面スクラビングプロセスに最適です。
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