中古 DNS / DAINIPPON SS-3100 #293591331 を販売中
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ID: 293591331
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2008
Wet clean wafer scrubber, 12"
Process: TMAH Scrub
(4) Load ports
(8) Scrubber process cups
TMAH Chemical cabinet
Does not include Hard Disk Drive (HDD)
Stand alone power / Power supply cabinet
2008 vintage.
DNS/DAINIPPON SS-3100は、DNS Screen Mfg。 Co。、 Ltd。が製造する半導体産業のための高度な洗浄およびスクラビングソリューションを提供するウェーハ/マスクスクラバーです。DNS SS-3100は、フォトリソグラフィ、平面化、検査などのさまざまな用途で、ウェーハやマスクから粒子や汚染物質を除去するように設計されています。スクラバーは、高度なオートメーション技術を使用して、安全で効率的で制御されたウェーハ/マスク洗浄プロセスを提供します。4ヘッドのスクラバーと完全に自動化された水と溶剤の配送システムを備えており、正確で均一な洗浄を実現しています。SC-3100スクラバーは、複数のタイプの基板を処理することができ、8x10インチ(200x250mm)までの基板およびマスクのin-situスクラブをサポートします。スクラバーは、2つの独立したスクラビングヘッド、水と溶剤用の2つの独立したタンク、および自動水と溶剤の配達システムで構築されています。また、スクラバーには温度とスロープ制御機能が搭載されており、スクラブ温度を安定させ、基板間相互作用を一定に保つことができます。スクラバーのタッチスクリーンディスプレイは、シンプルでユーザーフレンドリーな操作を可能にします。また、ウェーハフィーダーオプション、マスクアライメント機能、バルクステーションなどの高度な機能により、最高レベルの自動化を実現しています。スクラバーは、Si、セラミック、その他の材料などの異なる基材をサポートする構成可能なスクラビングプロセスを備えています。SS 3100はステンレス製フレームで設計されており、ほこりや水の侵入に対するIP66保護に適しています。ユニットは、既存のシステムに簡単に統合することができます。スクラバーはユーザーフレンドリーで維持しやすいように設計されています。これは、高品質の洗浄プロセスを確実にするために、プリスクラブおよびポストスクラブ測定を同時に行うことができます。その高度な設計は、優れた洗浄結果と正確かつ一貫した洗浄アクションを保証します。スクラバーには、スクラビングプロセスを改善するための幅広いアクセサリーが含まれており、カスタマイズのオプションを提供しています。DAINIPPON SS-3100ウェーハ&マスクスクラバーは、半導体業界向けの高度で信頼性の高い洗浄ソリューションです。それは非常に構成可能で、正確で一貫したスクラブを提供し、ユーザーフレンドリーなインターフェイスはより容易で、より効率的なクリーニングプロセスを提供します。
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