中古 DNS / DAINIPPON SS-3000 #9176376 を販売中

DNS/DAINIPPON SS-3000ウェーハとマスクスクラバーは、半導体デバイスの製造プロセスに使用される洗練された装置です。ウェーハやマスク面の残留粒子を効果的に除去するように設計されており、歩留まり損失を最小限に抑え、クリーンな製造環境を提供します。この装置は、ブラシスクラブマスクとウエハメカニズム、ダブルヘッドスクラブブラシ、PLCコントローラを備えたスクラビングステーションで構成されています。スクラビングステーションは、空気浮遊装置を内蔵したNCスピンドルを使用しており、スクラビングブラシをウエハーまたはマスクに関連して正確に配置してスクラブすることができます。ダブルヘッドスクラブブラシは、最大のスクラブ力を提供するように設計されており、ブラシの滑らかで正確で高速なスクラブ動作のためのエアベアリング装置が取り付けられています。DNS SS3000システムには、破片がスクラビングプロセスに再入力するのを防ぐために、SIP-7000タイプのふるいが装備されています。ふるいは、スクラブ溶液から0。1〜5。0ミクロンの粒子を効率的にスクリーニングし、分離することができます。さらに、オープンユニット形式が用意されており、他のシステムとのカスタマイズと統合が可能です。PLCのコントローラーは機械の中心で、完全な自動化されたモードの操作を可能にします。オートメーションは、ウェーハおよび/またはマスクのサイズ、および表面の汚染の程度に基づいて、スクラビングブラシの速度と方向を選択するようにプログラムすることができます。DAINIPPON SS 3000は、最高の性能、効率、使いやすさを目指して設計されています。長期間使用した後でも、ウェーハやマスク表面のクリーンアップが可能です。さらに、ツールは簡単にメンテナンスできるように設計されており、ユーザーは着用または欠陥部品を簡単に交換することができます。結論として、SS 3000 WaferとMask Scrubberは洗練されたクリーニングとスクラビングアセットであり、最大の性能、効率、使いやすさを追求して設計されています。内蔵のPLCコントローラを使用すると、モデルは完全に自動化されたモードで操作でき、ダブルヘッドスクラブブラシはウェーハまたはマスクからの汚染を効果的に除去できます。さらに、SIP-7000タイプのふるいと簡単なメンテナンス設計は、機器の全体的な有効性の最大化に貢献します。