中古 DNS / DAINIPPON SS-3000 #9176375 を販売中

DNS/DAINIPPON SS-3000は、表面から粒子を除去するために設計された特殊なウェーハおよびマスクスクラバーです。このデバイスは、機械的および化学的スクラブ技術を組み合わせて、10ナノメートルの粒子を高精度で除去します。DNS SS3000は、e-Scopeとスクラバーユニットの2つの部分で構成されています。e-Scopeは、対象表面の最大5,000倍の大きさを拡大し、極めて正確な粒子除去を可能にする顕微鏡です。スクラバーユニットはもう1つのコンポーネントで、スクラビングジェットとマイクロスフィアベースの洗浄装置の組み合わせが特徴です。ジェット機は空気とスクラブ剤の流れを生成し、表面に押し付け、洗浄システムはスクラブ粒子を洗い流します。このデバイスには100Wファンが搭載されており、マルチステージフィルトレーションユニットを使用して粒子を捕捉します。このフィルターは、高効率粒子空気（HEPA）フィルター、カーボンフィルター、および二次フィルターで構成されています。HEPAフィルターは直径0。3ミクロンの小さな粒子をトラップし、カーボンフィルターはスクラブ中に発生する有毒な発煙をトラップします。二次フィルタは、HEPAおよびカーボンフィルターによって除去された粒子を収集します。DAINIPPON SS 3000は、スクラビングジェットの強度を調整し、安全で徹底的なスクラビングプロセスを実現します。また、光学位置検出とフィードバック制御機を備えており、正確な粒子除去と精度を保証します。さらに、このデバイスは自動運転用に設計されています。最大8時間自律的に動作するようにプログラムすることができ、スクラブが完了した後にオフに切り替えることができます。これにより、ユーザーがデバイスをオフにすることを忘れた場合でも、パーティクルが完全に削除されます。DNS/DAINIPPON SS 3000は、ウェーハやマスクからパーティクルを除去するための信頼性と効率の高いツールです。機械的および化学的スクラブ技術の組み合わせにより、効果的で徹底的な洗浄プロセスが保証され、自律的な操作により、ユーザーは安心してタスクを実行できます。