中古 DNS / DAINIPPON SS-3000 #9137271 を販売中
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DNS/DAINIPPON SS-3000は、シリコンウェーハとフォトマスクを迅速かつ効果的に洗浄するように設計された、最先端のウェーハおよびマスクスクラバーです。DNS SS3000は、最小限の時間で最高レベルの結果を提供することを可能にする洗練された統合された設計を誇っています。DAINIPPON SS 3000は、パワフルなブラシレスダイレクトドライブモーターを搭載し、最大65,500 RPMの高効率スクラブを実現しました。スクラビングチャンバーは非常に適応性が高く、ウェーハとマスクサイズの広い範囲に対応するために高さと幅を調整できます。カーボングラファイト、柔らかい金属、布ベースのパッドなど、さまざまなスクラビングパッドも用意されています。これにより、より複雑な基板のより深い洗浄が可能になります。SS 3000は、混合ダンピングメディア装置を使用して効率的なスクラビングを行う統合スクラビングチャンバーを使用しています。このシステムは空気媒体と液体媒体の両方を利用し、両方の媒体のためのジェットバーを含んでいます、ウェーハまたはマスクのすべての区域へのスクラブ媒体の均等な配分を保障します。これにより、より迅速かつ均一なスクラビング時間を実現し、ウェーハやマスクの損傷のリスクも低減します。ダイニッポンSS-3000には、エアロゾルおよびパーティキュレートフィルターからなるクラス10クリーンルームフィルターユニットが装備されています。これにより、スクラブ環境はできるだけ汚染のない状態に保たれ、スクラブ基板は超清浄な状態に保たれます。フィルター機は容易な取り替えのために設計され、変更する必要があるとき警告を出します。最後に、SS-3000は予期しない中断からスクラビングプロセスを保護するのに役立つ高度な安全機能のホストが装備されています。これらの機能には、緊急停止ボタン、機械安全ガード、および光学および可聴アラームと警告のフルセットが含まれます。DNS/DAINIPPON SS 3000は、高度で信頼性の高いウェーハとマスクスクラバーです。強力なモーター、統合されたスクラビングチャンバー、および包括的な安全機能により、最小限の時間で最良のスクラビング結果を提供し、ウェーハやマスクの損傷のリスクを最小限に抑えます。
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