中古 DNS / DAINIPPON SS-3000 #293594788 を販売中

DNS/DAINIPPON SS-3000 Wafer and Mask Scrubberは、ウェーハやフォトマスクを効率的かつ効果的に洗浄および洗浄する必要性に対応するために特別に設計された自動洗浄装置です。システムは自動化されているため、迅速かつ効率的に操作を洗浄することができます。基盤には、ウェーハ、マスク、その他の基板を配置するワークテーブルと、基板をスクラバーの内外に移動するコンベアユニットアセンブリがあります。これにより、複数のウェーハをスクラブすることができ、バッチプロセスでは最大50まで使用できます。スクラバーにはスクラブステーション、2番目のスクラブステーション、浄化ステーション、吹き出しステーションなど、いくつかのスクラブゾーンがあります。スクラビリティステーションは研磨スクラビングパッドを使用し、エアロゾルとスクラビングソリューションの両方を使用してスクラビング効率をさらに向上させます。2番目のスクラビングステーションは、ウェーハまたはマスクからの粒子を洗浄するために回転ブラシを使用します。パージングアウトステーションは、高圧ジェットを使用して、ブラインドホールや不規則な隙間から閉じ込められた粒子を除去し、ブローオフステーションは高圧エアナイフを使用して粒子を除去します。安全性と品質の懸念のために、このマシンには、ドアの安全ロック機構、ホットタンクアラーム、緊急停止ボタンなど、いくつかの安全バッファが含まれています。また、窒素流体回路によるセルフモニタリングにより、誤動作を素早く検知し、タイムリーにデバイスをシャットオフすることで応答することができます。精度を確保するために、このツールには、自動シャットオフ機構、自動クリーニングソリューションフローレギュレータ、自動スクラビングスピードレギュレータ、自動スプレーステーションタイマーなど、いくつかの精密機械が内蔵されています。さらに、スクラバーは自動的にスクラビングパッドをきれいにするオートクリーン機能を備えています。最大使用量のために、アセットにはHandyCleanコントロールパネルがあり、ユーザーは目的のサイクルとパラメーターでスクラバーをプログラムできます。ユーザーフレンドリーなコントロールパネルとさまざまなディスプレイメッセージは、スクラビングプロセス全体をユーザーに導きます。モデルはまた、ユーザーがグラフィックスとオーディオでスクラビングプロセスを監視することができ、ステレオとディスプレイ画面を備えています。DNS SS3000ウェーハとマスクスクラバーは、ウェーハやフォトマスクを最適な結果で処理するために設計された信頼性の高い効率的なツールです。ウェーハやフォトマスクを精度とスピードで洗浄・洗浄する必要があるユーザーに最適です。ユーザーフレンドリーなコントロールパネル、最適化されたスクラビングプロセス、自動化された安全対策により、DAINIPPON SS 3000は品質結果を安全かつ迅速に保証します。