中古 DNS / DAINIPPON SS-3000-AR #9379760 を販売中

DNS/DAINIPPON SS-3000-ARウェーハ&マスクスクラバーは、半導体製造プロセスにおけるウェーハおよびマスクの洗浄およびメンテナンスに使用されるツールです。それは非常に効率的であるように設計されており、オペレータの介入をほとんど必要としません。DNS SS-3000-ARは、さまざまな半導体材料やプロセスに精密に構成することができるため、ユーザーに信頼性と再現性を提供します。DAINIPPON SS 3000 ARは、ロータリーブラッシングユニットを使用してウェーハやマスク面をスクラブします。このユニットは、多軸モーションコントローラによって駆動され、最大25,000rpmのブラシ速度を備えているため、不要な粒子沈殿物を迅速かつ徹底的に除去することができます。このユニットには、ブラッシングプロセスを制御するソフトウェアスイートも付属しており、オペレータはクリーニングプロセスを監視し、必要に応じて設定を変更することができます。スクラバーには、ウェーハやマスクに意図しないダメージを与えないようにするいくつかの安全機能も付いています。ブラシや破片室で異物が検出された場合には、ブラシシャットオフ機能が内蔵されています。さらに、ユニット全体がクリーニングに使用されるエチャントに耐性があるように構造化されており、ランオフに対する余分な保護を提供します。DNS/DAINIPPON SS 3000 ARは、さまざまなサイズのウエハーに対応でき、メンテナンス性も低く設計されています。ユニークなアクティブブラシ洗浄システムは、ブラシユニットを維持し、繰り返し洗浄作業に最適な性能を確保します。また、ノーハングアップウェーハキャリアは、ウェーハの損傷を防ぐのに役立ちます。DNSによると、スクラバーは55ワットの低エネルギー使用量を消費し、経済的なソリューションを提供します。全体として、DNS SS 3000 ARウェーハ&マスクスクラバーは、半導体製造プロセスにとって強力で信頼性の高いツールです。精密な制御機能と安全機能を備えたスクラバーは、ダウンタイムを最小限に抑えてウェーハやマスクを洗浄する必要のあるあらゆる生産設備に適しています。