中古 DNS / DAINIPPON SS-3000-AR #9355472 を販売中

DNS/DAINIPPON SS-3000-ARウェーハ&マスクスクラバーは、半導体およびマイクロエレクトロニクス機器を管理するために設計された信頼性の高い効率的なディープクリーニング装置です。このスクラバーは、ウェーハやマスクから粒子、残留物、汚れを除去するための自動および手動スクラビングソリューションを提供します。スクラバーには高度な微粒子除去機構を搭載しており、表面に埋め込まれた最小の粒子を除去することができます。スクラバーは、最大5個の6インチウェーハカセットまたは200個の4インチウェーハカセットを収納するのに適した大型ワークタンクで設計されています。損傷からウェーハを保護するために、スクラバーにはウェーハとマスク表面を柔軟にサポートするホルダー指メカニズムが装備されています。スクラバーには、2段階の真空フィルターと、制御された効率的で安全なウェーハ洗浄用の液体送りバルブが内蔵されています。スクラバーの動作メカニズムには、ウェーハやマスクから汚れ、粒子、破片を取り除くために特別に成形された電動ステンレス製のブラシが含まれます。このスクラバーには、ウェーハやマスクから超微粒子を除去する単一のダストペーパークリーニングシステムも備えています。また、優れた洗浄性能を保証する強力な遠心洗浄ユニットを備えています。スクラバーには、高度なプロセス制御とさまざまなパラメーター監視をサポートする高度なモニタリングマシンがさらに装備されています。また、プロセスの状態と製品品質をリアルタイムで報告することもできます。機械はまた容易な装置制御のためのイーサネット接続を支えます。スクラバーは、スタンドアロンとして使用するか、広範な通信インターフェースを介して機器と統合することができます。スクラバーは、1秒間に最大3枚のウェーハ/マスクを処理することができます。半導体およびマイクロエレクトロニクスの製造プロセスにおいて、最大限の効率、精度、信頼性を確保するように設計されています。