中古 DNS / DAINIPPON SS-3000-AR #9240731 を販売中
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ID: 9240731
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2007
Scrubber, 12"
Wet process
(4) Chamber stations
NH4OH, H2O2
(3) LP
Robots
No computer
2007 vintage.
DNS/DAINIPPON SS-3000-ARウェーハ&マスクスクラバーは、ウェーハやマスククリーニング用に設計された高効率のコンパクト機器です。ウェーハやマスクの表面から汚染物質を持ち上げて除去するために、吸収布を積んだ回転スクラブヘッドを使用しています。システムは8インチまでの基質を収容でき、同時に2つまでの基質を処理できます。スクラブヘッドに加えて、スプレーノズルを備えており、オプションで基板表面に液体洗浄液を適用します。この液体溶液は、破片、破片粒子、または表面に付着している可能性のある汚染物質をさらに取り除くのに役立ちます。スクラビングプロセスは、速度、圧力、スクラビングの方向の設定で、電子的に制御されます。スクラブ圧力は調整可能で、スクラブヘッドを時計回りまたは反時計回りに回転させて均一なクリーニングを行うことができます。スクラブ後、基板は、残りの残留物を除去するのに役立ちます高速空気吹き出しプロセスにさらされます。このスクラバーはユーザーの安全を念頭に置いて構築されています。スクラブヘッドは安全扉に囲まれており、運転中は開閉できません。また、パッシブ赤外線安全センサマシンを搭載しており、工具の衝突を防ぎます。これらの安全機能はすべて、オペレータとバイスタンダーが動作中も安全であることを保証します。この資産はまた、簡単なインストールとメンテナンスを念頭に置いて設計されています。エアストリームを清潔に保ち、汚染物質を含まないインラインフィルターを備えており、長時間使用した後にクリーニング用にスクラブヘッドを取り外すことができます。さらに、機械は耐食性があり、きれいになること容易である頑丈なステンレス鋼から組み立てられます。DNS SS-3000-ARは、ウェーハやマスククリーニングに最適なソリューションです。その高性能スクラビングモデルは、あらゆる汚染物質の徹底的な洗浄を保証します、その安全機能は、ユーザーが動作中に安全を維持することを保証します。その容易な取付けおよび維持はそれをあらゆるウエファーかマスクのクリーニングの必要性のための有効で、便利な解決にします。
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