中古 DNS / DAINIPPON SS-3000-AR #293624557 を販売中

DNS/DAINIPPON SS-3000-ARは、高精度洗浄のために設計された自動ウェーハおよびマスクスクラバーです。先進的な半導体ウェーハやフォトマスクを幅広く洗浄するように設計されており、さまざまな特殊プロセスを実行することができます。スクラバーには、便利な作業機能を備えた統合されたクリーニングマニピュレーターが付属しています。マニピュレータは、ウェーハを拾い上げて移動するために使用できるプログラム可能なリフトアームと、ウェーハに精密なクリーニングソリューションを提供することができる高度なスプレー装置で構成されています。マニピュレータには、ウェーハの故障検出システムも装備されており、ウェーハが適切に洗浄されていることを確認するのに役立ちます。スクラバーは、スクラブ、研磨、エッチング、ホットストレージなど、ウェーハやマスクの複数の操作を実行できます。各プロセスにおいて、高度な操作ユニットとさまざまな特殊な石と洗浄ソリューションを組み合わせることで、非常に信頼性の高い正確な洗浄性能を提供できます。統合されたEDX（エネルギー分散X線）分析機は、洗浄プロセスの前、中、後にウェーハまたはマスクの状態を包括的に評価することができます。自動化されたツールは、ユーザーが各プロセスのカスタムクリーニングプロファイルをプログラムすることもできます。スクラバーは、ほこりと粒子のない環境を提供する工業デザインの堅牢なケースに収容されています。エンクロージャには、温度と湿度を最適なレベルに保つための統合換気アセットも装備されています。さらに、機械に最高レベルの効率で常に作動することを保障する調節可能なクリーニング圧力モデルおよび自動診断機能があります。また、危険物との接触からオペレータを保護するためのさまざまな安全対策が装備されています。スクラバーは最小限のメンテナンスを必要とし、処理されるウェーハやマスクの種類に関係なく、一貫したレベルの結果を提供するように設計されています。