中古 DNS / DAINIPPON SS-3000-A #9379553 を販売中

ID: 9379553
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2007
Scrubber, 12" 2007 vintage.
DNS/DAINIPPON SS-3000-A Wafer&Mask Scrubberは、ウェーハとマスクの効率的で一定の垂直洗浄を提供するように設計されています。このスクラバーは、集積回路、フラットパネルディスプレイ、ディスクリート部品など、あらゆる種類のウェーハやマスクのクリーニングタスクに対応できます。DNS SS-3000-Aは、積極的なブラッシング、強力な吸引、および優れた濾過装置により、強力で信頼性の高い洗浄性能を提供するために構築されています。ユーザーはブラシの速度と圧力を調整するだけで、ウェーハとマスクをスクラブする力をカスタマイズすることができます。スクラバーには、ウェーハまたはマスクの表面からすべてのグリットと粒子が除去されるように、チャンバー照明が装備されています。スクラバーは耐久性のあるステンレス鋼で構成されており、全幅のクリーニングチャンバーを備えているため、最大400mmまでのウェーハまたはマスクに対応できます。スクラバーには、内側と外側の2つのゾーンがあります。内側のゾーンはウェーハまたはマスクの前面をきれいにするように設計されていますが、外側のゾーンは裏面をきれいにするように設計されています。スクラバーには統合された乾燥システムも含まれており、洗浄後にウェーハまたはマスクから残留水分をすばやく除去するように設計されています。この乾燥ユニットは、従来の乾燥方法よりもはるかに高速で効率的な遠心力で動作します。その結果、ダイニッポンSS-3000-Aスクラバーは優れた乾燥性能を発揮します。スクラバーは、その強力なスクラブと吸引機能を介して、洗浄後に表面に残る可能性のある粒子を除去することもできます。スクラバーには、ウェーハまたはマスクに使用される真空圧力の量を制御する2つの調整可能なエアジェットが装備されており、軽いまたは重いスクラブ処理を提供するように設定することができます。SS-3000-Aはまた空気にあるかもしれない汚染物を捕獲するように設計されている高度のろ過機械が装備されています。このスクラバーは、HEPAフィルターを使用して、可能な限り最高レベルの空気ろ過を提供します。結論として、DNS/DAINIPPON SS-3000-Aウェーハ&マスクスクラバーは、ウェーハとマスクの効率的で一定の垂直洗浄を提供する強力で信頼性の高いスクラバーです。セットアップと使用が簡単で、あらゆるタイプのウェーハやマスクを正確に洗浄することができます。また、強力な吸引およびスクラブ機能、乾燥ツールの統合、洗浄性能を最適化するための高度な濾過アセットも含まれています。
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