中古 DNS / DAINIPPON SS-3000-A #9184975 を販売中
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ID: 9184975
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2007
Front scrubbers, 12"
(3) FOUP
Spin chuck vacuum type
DI Rinse nozzle
(2) Back rinse nozzles
Nano spray:
N2 MFC
E-Flow
2007 vintage.
DNS/DAINIPPON SS-3000-Aは、さまざまな産業レベルの半導体生産ニーズに優れた洗浄結果を提供するために設計された最先端のウェーハおよびマスクスクラバー装置です。これは、独自のクリーンFlow™スクラバーシステムを介して、1つのパスで4〜8"までのウェーハ径を処理するように設計されています。Clean- Flow™ユニットは、複数の高速ブラシ、複数のセトリングタンク、および複数の洗浄サイクルのユニークな組み合わせを使用して、ウェーハとマスクを効果的に洗浄します。マシンは、各アプリケーションの特定のニーズを満たすためにカスタマイズすることができ、最適な洗浄結果のためのパーソナライズされたセットアップを可能にします。DNS SS-3000-Aは、最大8つの異なるスクラビングヘッドを一度に実行するように設計されており、最大のスクラビングパワーと無理のないスクラブ圧力を可能にします。スクラビングヘッドは最大12,000RPMの速度で回転することができ、最高の精度と複雑な機能の徹底的なスクラブを保証します。ブラシはスクラビングヘッドに固定されているため、ウェーハやマスクの機能をスキップすることなく、手の届きにくい場所に到達できます。Clean- Flow™スクラビングツールには、それぞれ独立した可変速度を備えた4つの機械化アームが装備されており、特にウエハやマスク上の複雑な機能を扱うときに、極めて正確で優れたdeftnessを可能にします。このアセットには、スクラブウェーハとマスクの最適な乾燥を提供するための最先端の乾燥ユニットも含まれています。乾燥ユニットには2つの別々のファンがあり、毎分660リットルの信じられないほどの空気を乾燥することができます。また、ウェーハまたはマスク用のカスタマイズされた乾燥サイクルのためにプログラムすることができ、ユーザーは特定のプロジェクトの正確なニーズに乾燥プロセスをカスタマイズすることができます。また、DAINIPPON SS-3000-Aは独自のPro- Clean™モデルを採用し、粉塵や粒子の蓄積を低減し、環境に関係なく正確な洗浄を実現しています。全体として、SS-3000-Aはさまざまな産業レベルの半導体生産ニーズに優れた洗浄結果を提供します。カスタマイズ可能なスクラブ速度、圧力、乾燥サイクルを提供し、あらゆるプロジェクトに最適な汎用性を備えています。DNS/DAINIPPON SS-3000-Aは、精度、効率、使いやすさに優れ、高品質で徹底的に洗浄されたウェーハやマスクに最適です。
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