中古 DNS / DAINIPPON SR-3000 #293596480 を販売中
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販売された
ID: 293596480
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2003
Stripper, 12"
(4) Chambers
CIM: SECS / GEMS
Process: AZ / NMP, PGMEA, IPA
(2) Pump
Handler: IR / Slide / CR Robot
Factory interface: (3) FOUP
2003 vintage.
DNS/DAINIPPON SR-3000は、半導体製造および研究用途向けに設計された高度なウェーハおよびマスクスクラバーです。このスクラバーは、ウェーハおよびマスク関連プロセスの開発とテストのための信頼性の高い高性能プラットフォームを提供します。DNS SR-3000は、直径300mmまでのウェーハを取り扱うことができ、最適なスクラブ結果を得るために独自に構成することができる複数のスクラビングヘッドを備えています。この装置は、コンピュータ制御のプログラム可能なスクラビングヘッドを備えた、完全に自動化されたスクラビングプロセスを備えています。スクラビングヘッドは、ウエハの表面または汚染物質のマスクを徹底的に洗浄するための超音波洗浄技術を最大限に活用しています。スクラビングヘッドは、ロータリーディスクに取り付けられた2つの多結晶ダイヤモンドスクラビングチップで構成されており、チップはウェーハまたはマスクのエッジと表面積をきれいにするように設計されています。ウェーハまたはマスクは、洗浄乾燥リンスドライシーケンスで洗浄され、表面から汚れや汚れを除去し、プロセスの品質を向上させます。ダイニッポンSR-3000は、高精度な洗浄システムを採用しており、高温・低温の2つの水源を使用して、確実で効率的な洗浄結果を実現しています。SR-3000のクリーニングソフトウェアは、ウェーハまたはマスクが処理プラットフォームにロードされる前に徹底的にクリーニングされるようにします。また、自動ウェーハローディング、ウェーハアライメント、ウェーハ検査などの機能も搭載できます。これらの機能は、汚染の可能性を排除し、ウェーハまたはマスクが再現性と信頼性の高い方法で処理されるように設計されています。DNS/DAINIPPON SR-3000は、あらゆる半導体生産環境に適応できるように設計されています。これには、プロセス指向の制御マシンが含まれており、所望のプロセスに基づいて構成を最適化することができます。これにより、DNS SR-3000は大容量の本番環境での使用に特に適しています。結論として、ダイニッポンSR-3000ウェーハとマスクスクラバーは、半導体製造プロセスで使用するためのウェーハとマスクの効率的かつ信頼性の高い洗浄を保証するために設計されたツールです。スクラビングヘッドと関連する機能は、信頼性と再現性を犠牲にすることなく最適なクリーニング性能を保証するように設計されており、スクラビングプロセスはあらゆるタイプの生産環境に統合するのに十分なシンプルです。
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