中古 DNS / DAINIPPON SR-3000 #293591975 を販売中

DNS / DAINIPPON SR-3000
ID: 293591975
ウェーハサイズ: 12"
Scrubber, 12".
DNS/DAINIPPON SR-3000は半導体産業の要求に応えるように設計されている上限のウエハおよびマスクのスクラバーです。その先進的な設計は、2つの独立したスクラビングヘッドを使用して均一で一貫したクリーンを作成し、同等のシステムよりも優れた流体力学的安定性を提供します。さらに、この装置はサイクルごとに複数の作業サイクルを可能にし、スループットをさらに最適化します。DNS SR-3000は、精密ベースのアルゴリズムを使用して処理時間を最適化し、一貫したクリーンを確保するデジタル制御の2段階洗浄システムを搭載しています。大容量のフード付きタンクは、環境汚染のリスクなしに、洗浄液にウェーハまたはマスクを完全に浸漬することを保証します。このユニットは、複数の薄膜材料で使用するために設計されており、手動での積み下ろしの必要性を排除します。ダイニッポンSR-3000は、ハイドロジェットとエアジェットの両方を使用して、優れたスクラビングパワーを提供します。ハイドロジェットは、ウェーハまたはマスクの両側が均等にスクラブされるように、垂直および水平のジェット動作を提供します。エアジェットは、表面の損傷や傷のリスクを最小限に抑える穏やかなスクラブアクションを提供しています。状況を考慮したお客様のニーズに合わせて、マシンはあらかじめ定義されたスクラビングプロファイルの広い配列でプログラムされているため、ユーザーはスクラビングパラメータと強度を素早く簡単に調整できます。SR-3000には、高度でカスタマイズ可能なろ過ツールも含まれています。このアセットは、ガスベント、吸着、パーティクルモニターによるフィルタリングなどの選択可能なオプションをユーザーに提供します。パーティクルモニタには、リアルタイムと履歴の両方のデータが含まれており、ユーザーはプロセスのパーティクルレベルを迅速に評価し、時間の経過とともに出力の清潔さを追跡することができます。DNS/DAINIPPON SR-3000には直感的なソフトウェアが組み込まれており、ユーザーは簡単にマシンのパラメータを簡単にプログラムおよび調整できます。このソフトウェアは、レイヤーベースのプログラミング構造を容易にし、ユーザーは、スピードや加速などのスクラビングパラメータを簡単に調整するだけでなく、すすぎやPUリンスなどの複数のプロセスサイクルを可能にします。さらに、EMコントロールユニットを搭載し、メンテナンスや操作を容易にするための高度な診断機能を提供します。DNS SR-3000は、優れたウェーハおよびマスククリーニング用に設計された信頼性の高い高品質モデルです。このスクラバーは、直感的なインターフェイスと信頼性の高い高度な技術を備えており、徹底的かつ一貫したクリーンを提供します。これは、スループットを最適化し、ウェーハおよびマスク洗浄プロセスを改善することを望むすべての半導体業界に最適な選択肢です。
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