中古 DNS / DAINIPPON SR-3000-AV #9278970 を販売中

DNS/DAINIPPON SR-3000-AVは、ウェーハ表面とマスク面の両方を洗浄するために設計された高度なウェーハ&マスクスクラバーです。この驚くべき機械は要求の厳しいクリーニングの結果を提供するのにぬれたおよび乾燥したオートメーションの独特な組合せを使用します。DNS SR-3000-AVは、非接触、自動化されたウェーハエッチングと呼ばれるプロセスを利用して、ウェーハ表面でクリーンで鮮明なエッジプロファイリング結果を得ることができます。微調整された高性能プラズマエッチングビームを使用して、ウェーハに接触することなく不純物をエッチングします。この高精度な装置は、精度と再現性を維持するのに役立ち、ウェーハ表面に最高レベルの清浄度を提供します。マスクエッチングとドライスクラブの課題に取り組むために、ダイニッポンSR-3000-AVはマニュアルと自動スクラブの両方の機能を備えた革新的なシステムを利用しています。手動スクラブでは、非常に洗練されたブラシヘッドツールは、ブラシヘッドツールがクリーニングプロセスを開始する前に、マスク表面にエアロゾル潤滑剤の非常に細かい霧を適用します。マスク表面から汚染物質を除去するドライスクラビングマシンと同等の強力なマニュアルスクラビングユニットです。従来のドライスクラブもSR-3000-AVでご利用いただけます。マニュアルスクラビングツールよりもさらに強力に設計されたドライスクラビングアセットは、マスク表面から汚染物質を吹き飛ばしながら潤滑剤を同時に塗布する高圧エアジェットを使用しています。また、ウェーハ表面から粒子を完全に洗浄して除去することも可能で、さまざまな表面で動作します。DNS/DAINIPPON SR-3000-AVは、環境に優しいという付加的なボーナスも提供しています。この機械は完全に空気清浄チャンバー内に囲まれているため、エッチングおよびドライスクラブ処理中に空気中の汚染が劇的に低減されます。この封止されたモデルは、危険な汚染物質がウェーハやマスクと接触するのを防ぎ、品質基準と安全規制が厳守されています。要するに、DNS SR-3000-AVは本当に素晴らしいマシンです。ウェーハエッチング、手動スクラビング、ドライスクラビング技術を組み合わせることで、他のウェーハエッチングおよびスクラビングソリューションよりも優れています。タイトトトレランスのウェーハエッチングとスクラブのニーズに最適で、ウェーハとマスクの両方の表面に業界をリードする清潔さを提供します。