中古 DNS / DAINIPPON HMS-TVM-300 #9159859 を販売中

DNS/DAINIPPON HMS-TVM-300は、半導体業界で使用するために設計された先進的なウェーハおよびマスクスクラバーです。スクラバーは500mmまでのサイズの基質、マスクおよびウェーハを扱うことができ、スクラビングプロセスの精密な制御を提供する高度のプログラム可能なコントローラーを特色にします。このスクラバーには、半導体プロセスに適したいくつかの機能があります。スクラバーには、最大300mmウェーハをサポートできるフラットワークプラットフォームがあります。フラットワークには、傷や摩耗から保護するための特別なコーティングがあります。また、スクラバーは最大200LPHの高い流量と50kPaの低走行圧力を備えています。スクラブに加えて、DNS HMS-TVM-300は硫酸、硝酸、フッ化水素酸および他の標準的な半導体エッチング剤と互換性のあるドライエッチング処理も備えています。スクラバーにはフォトレジスト素材やスピナーを加工するフォトレジストプラットフォームも装備されており、最大100mmまでのウェーハを8本までサポートできます。安全のために、スクラバーには、オペレータ保護エンクロージャ、自動シャットオフおよび警告システム、およびエネルギー吸収性のばね負荷プラットフォームなど、いくつかの安全機能があります。スクラバーは、静的消散や他のシステムコンポーネントの適切な動作など、標準の安全プロトコルとも互換性があります。DAINIPPON HMS-TVM-300は、コンパクトなフットプリントで設計されており、さまざまな作業環境での設置に適しています。このスクラバーは、既存の半導体生産ラインに容易に統合できるように設計されており、材料搬送システムやCMP研磨システムなどの他のシステムとの接続も可能です。スクラバーは高いスループットと低メンテナンスコストを提供し、多くの半導体プロセスにとって費用対効果の高いソリューションとなります。高度なプログラマブルコントローラは、スクラビングプロセスを正確に制御し、一貫して高品質のスクラビング結果を得ることができます。スクラバーも適応性が高く、さまざまな材料や基材の加工に使用できます。